2026-09-03
Proč je u potažených hliníkových desek pro pláště robotů pro manipulaci s destičkami mikrorovinnost zásadní? Závody na výrobu polovodičů (fabs) spoléhají na automatizované roboty pro manipulaci s destičkami, které přenášejí ultratenké, vysoce křehké silikonové destičky mezi fotolitografií, leptáním a chemickou mechanickou planarizací (CM