Ondarymgeçirijiniň arassa otag barlagy robotlary näme üçin anti-statik örtülen alýumin gabyklaryny talap edýär?

Sub-nanometr ýarymgeçiriji öndürýän zawodlarda (fabs), özbaşdak ykjam robotlar (AMR) we robot ýaraglar ISO 1-nji synpdan 3-nji synp otaglaryna çenli möhüm barlag, wafli pod geçiriş (FOUP işlemek) we daşky gurşawa gözegçilik meselelerini ýerine ýetirýärler. Bu ösen düwünlerde ( 2nm - 5nm ), hatda ýekeje elektrostatik zyňyndy (ESD) hadysasy ýa-da mikron howa arkaly bölejik, kremniý wafli partiýalarynyň hemmesini ýok edip, millionlarça dollar girdeji ýitirmegine sebäp bolup biler.

Valueokary bahaly fotolitografiýa gurallary we wafli işlemek ulgamlary bilen bilelikde howpsuz işlemek, ýarymgeçiriji arassalaýyş barlag robotlary statiki örtükli alýumin gabyklaryny ( 5000 we 6000 geçiriji dargadyjy örtükli seriýal erginleri) talap edýär.

Triboelektrik zarýad öndürmek we ESD töwekgelçilikleri

Arassa otagyň barlag robotlary fab pollarda gezip ýörkä, tigirleriň, howa toklarynyň we aýdyň bilelikdäki hereketleriň arasyndaky sürtülme triboelektrik zarýadlaryny döredýär:

Wafer derwezesiniň dielektrik döwülmegi: Robotyň daşky gabygynda toplanylýan gözegçiliksiz elektrostatik zarýadlar, howa boşluklaryndan geçip, Öň açylýan Bitewi Podlara (FOUP) ýa-da wafli basgançaklara çenli ýaýylyp, näzik nanometr ölçegli tranzistorlarda derwezäniň oksidiniň döwülmegine sebäp bolup biler.

Elektrostatik çekiş (ESA) arkaly bölejikleriň hapalanmagy: Zarýadlanan robot jisimleri elektrostatik magnit hökmünde hereket edýär, barlag wagtynda ýalaňaç kremniniň waflerine düşüp bilýän kiçi mikron howa bölejiklerini (<0.1μm) özüne çekýär.

Deňeşdirme: Standart boýagly plastmassalar / metallar we anti-statik örtükli alýumin gaby

Arassa otag materiallary

Aşakdaky matrisa ýarymgeçiriji fab gurşawy üçin adaty robot örtükli alýumin gabyklary bilen standart robot gabyk materiallaryny deňeşdirýär:

Ondarymgeçiriji arassa otag barlag robotlarynda esasy hünär artykmaçlyklary

Sorag-jogap

1-nji sorag: Näme üçin arassalaýyş barlag robotlary anti-statik örtük bolmasa adaty anodlaşdyrylan alýuminiý ulanyp bilmeýärler?

J: Standart arassa anodizasiýa alýumin oksid gatlagyny ( Al ₂ O forms) emele getirýär , elektrik izolýatory ( > 10 ⊃1; ⊃2; Ω ) hökmünde işleýän . Bu izolýasiýa gatlagy, triboelektrik zarýadlaryny duzaga salýar, duýgur wafli elektronikasynyň golaýynda ýokary ESD howpuny döredýär.

2-nji sorag: Anti-statik örtük doly geçiriji örtükden nähili tapawutlanýar?

J: Doly geçiriji örtükler ( <10 ⁴ Ω ) statiki zarýadlaryň bir bada diýen ýaly çykmagyna mümkinçilik berýär, bu kontaktda agyr mikro-uçgunlara sebäp bolup biler. Anti-statiki (statiki bölünip çykýan) örtükler ( 10⁶ - 10 ⁹) zarýadlary ýuwaş-ýuwaşdan we ygtybarly öçürýär.

3-nji sorag: Isopropil alkogoly (IPA) bilen ýygy-ýygydan süpürmek anti-statiki häsiýetleri könelýärmi?

J: No.ok. Gradeokary derejeli senagat anti-statik örtükler, polimer matrisa boýunça geçiriji nano doldurgyçlary birleşdirýär. Wagtlaýyn derwaýys anti-statik spreýlerden tapawutlylykda, hemişelik bejerilen örtükler IPA ýa-da arassalaýjy erginler bilen ýuwulmaýar ýa-da süpürilmeýär.

4-nji sorag: Anti-statik alýumin gabygynyň agramy arassa otag AMR-iň işine nähili täsir edýär?

J: Alýuminiň pes dykyzlygy ( 2.7g / cm³ ) polat berkitmeler bilen deňeşdirilende umumy robot agramyny peseldýär, kiçi hereketlendiriji hereketlendirijilere, arassa otagyň içinde ýylylygy pes öndürmäge we 20% - 30% uzak işlemegine mümkinçilik berýär. zarýad beriş siklleriniň arasynda batareýanyň

5-nji sorag: Anti-statik gabygyň kadaly işlemegi üçin haýsy toprak mehanizmi zerur?

J: Geçiriji örtük, reňklenmedik, geçiriji öwrüliş nokatlary arkaly alýumin şassisine elektrik bilen birikdirilmelidir. Şassi soňra geçiriji ESD howpsuz kastorlar ýa-da fabyň ESD poluna degýän üznüksiz toprak çotgalary arkaly ýer topragyna birikýär.

Netije

Anti-statik örtükli alýumin gabyklary, ýarymgeçirijiniň arassalaýyş otagy barlag robotlary üçin hökmany in engineeringenerçilik talaplaryny görkezýär, umumy DÖB howpsuzlygyny, noldan ýokary çykmagy, ýokary himiki garşylygy we ýeňil gurluş goragyny üpjün edýär.

Arassa otag robotlary üçin material saýlamasyny optimizirlemek üçin:

Statiki bölünýän ýerüsti çydamlylygy kesgitläň (10⁶ - 10⁹  Ω / kw): ANSI / ESD S20.20 we ASTM D257 ülňülerinde synag edilen nano-geçiriji floropolimer ýa-da poroşok örtükleri.

5052-H32 ýa-da 6061-T6 alýumin garyndylaryny saýlaň: formokary öndürijiligi talap edýän çylşyrymly egrilen daşky paneller üçin 5052-H32 ulanyň we gurluş şassi bazalary we içerki gurnama çarçuwalary üçin 6061-T6 ätiýaçlyk ediň.

Himiki garşylyk we daşarky barlaglary güýçlendiriň: Örtük üpjün edijileriniň 200+ IPA süpürilen sikllere garşylygyny barlamagy we NASA SP-R-0022A kepillendirilen kepillendiriş hasabatlaryny (TML <0.1%, CVCM <0.01%) üpjün ediň.