يېرىم ئۆتكۈزگۈچ تازىلىق ئۆيىنى تەكشۈرۈش ماشىنا ئادەملىرى نېمىشقا تۇراققا قارشى سىرلانغان ئاليۇمىن قېپى تەلەپ قىلىدۇ؟
تارماق نانومېتىرلىق يېرىم ئۆتكۈزگۈچ توقۇلما زاۋۇتى (فاب) ، ئاپتوماتىك كۆچمە ماشىنا ئادەم (AMR) ۋە ماشىنا ئادەم قوراللىرى ISO 1-دەرىجىلىكتىن 3-دەرىجىلىك تازىلىق ئۆيى ئىچىدىكى ھالقىلىق تەكشۈرۈش ، ۋافېر پوستىنى يۆتكەش (FOUP بىر تەرەپ قىلىش) ۋە مۇھىتنى نازارەت قىلىش ۋەزىپىسىنى ئورۇندايدۇ. بۇ ئىلغار تۈگۈنلەردە ( 2nm - 5nm ) ، ھەتتا بىرلا ئېلېكتر سىتاتىك قويۇپ بېرىش (ESD) ھادىسىسى ياكى مىكرو مىكرو ھاۋا زەررىچىسى پۈتكۈل كرېمنىيلىق ۋافېر گۇرۇپپىسىنى ۋەيران قىلىپ ، مىليونلىغان دوللار زىيان تارتىدۇ.
يۇقىرى قىممەتلىك فوتوگرافلىق قوراللار ۋە ۋافېر بىر تەرەپ قىلىش سىستېمىسى بىلەن بىللە بىخەتەر مەشغۇلات قىلىش ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ تازىلىق ئۆيىنى تەكشۈرۈش ماشىنا ئادەملىرى تۇراققا قارشى سىرلانغان ئاليۇمىن قېپى ( 5000 ۋە 6000 ئۆتكۈزگۈچ تارقىتىش پەردىسى بىلەن يۈرۈشلۈك قېتىشما) تەلەپ قىلىدۇ.
تازىلىق ئۆيىنى تەكشۈرۈش ماشىنا ئادەملىرى فاب قەۋىتىدە ماڭغاندا ، چاق ، ھاۋا ئېقىمى ۋە بوغۇم بوغۇملىرى ئارىسىدىكى سۈركىلىش كۆرۈنەرلىك ئۈچبۇلۇڭلۇق توك ھاسىل قىلىدۇ:
Wafer Gate Dielectric پارچىلىنىش: ماشىنا ئادەمنىڭ سىرتقى قېپىغا يىغىلىپ كونترول قىلىنمىغان ئېلېكتر سىتاتىك زەرەتلىگۈچ ھاۋا بوشلۇقىدىن ھالقىپ ، ئالدى ئېچىلىش بىرلەشمە پونكىتى (FOUPs) ياكى ۋافېر باسقۇچىغا تۇتىشىدۇ ، نازۇك نانومېتىرلىق ترانسېستىرلاردا دەرۋازا ئوكسىدنىڭ بۇزۇلۇشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.
ئېلېكتىروستاتىك جەلپ قىلىش (ESA) ئارقىلىق زەررىچە بۇلغىنىش: توك قاچىلانغان ماشىنا ئادەم گەۋدىسى ئېلېكتر سىتاتىك ماگنىت رولىنى ئوينايدۇ ، مىكرو مىكرو ھاۋادىكى زەررىچىلەرنى جەلپ قىلىدۇ (<0.1μm) ، تەكشۈرۈش جەريانىدا كېيىن يالىڭاچ كرېمنىي ۋافېرغا چۈشۈپ قالىدۇ.
ئۆلچەملىك ئۆتكۈزمەس قاپ (يۇقىرى خەتەر) تۇراقلىق يىغىلىش ۋە زەررىچە جەلپ قىلىش |
تۇراققا قارشى سىرلانغان ئاليۇمىن قېپى (Fab ماسلاشتۇرۇلغان) كونترول قىلىنغان توك تارقىتىش ۋە ئىنېرت يۈزى |
ئۈستى ئوچۇق چاپان |
ESD تارقاق قاتلام |
ئۆتكۈزمەيدىغان تارماق بالا |
Conductive Primer |
5052/6061 Al Core |
Surface Resistivity> 10⊃1; ⊃2; Ω / sq يۇقىرى ESD توك چىقىرىش خەۋىپى ئېغىر دەرىجىدىكى ئېلېكتىروستاتىك زەررىچە جەلپ قىلىش كۈچى |
يەر يۈزىنىڭ قارشىلىق كۈچى 10⁶ - 10⁹ Ω / sq نۆل تۇراقلىق توك قاچىلاش / كونترول قىلىنغان چىرىش تازىلىق ئۆيى 1/3 گۇۋاھنامىسى |
|
|
تازىلىق ئۆيىنىڭ ماتېرىياللىرى
تۆۋەندىكى ماترىسسا يېرىم ئۆتكۈزگۈچ فاب مۇھىتىدىكى تۇراقلىق ھالەتتىكى سىرلانغان ئاليۇمىن قېپى بىلەن ئۆلچەملىك ماشىنا ئادەم قېپى ماتېرىياللىرىنى سېلىشتۇرىدۇ:
تېخنىكىلىق پارامېتىر |
ئۆلچەملىك بويالغان پولات |
قېلىپلاشقان ABS / پولى كاربونات سۇلياۋ |
تۇراققا قارشى سىرلانغان ئاليۇمىن قېپى |
سۈپەت / سىناق ئۆلچىمى |
Surface Resistivity |
ئىزولياتورلۇق (> 10 ⊃1; ⊃2; Ω / sq ) |
ئىزولياتورلۇق (> 10 ⊃1; ⁴ Ω / sq ) |
تارقاقلاشتۇرۇش ( 10⁶ - 10⁹ Ω / sq ) |
ANSI / ESD STM11.11 |
تۇراقلىق چىرىش ۋاقتى (1000V ئوڭ تەرەپ 10 V) |
ئاستا (> 60 سېكۇنت) |
ئىنتايىن ئاستا (> 300 سېكۇنت) |
ئۇلترا تېز (<0.05 سېكۇنت) |
FTMS 101C ئۇسۇلى 4046 |
تازىلىق ئۆيىنىڭ پارچىلىنىشى |
يۇقىرى چېكىنىش خەۋپى |
يۇقىرى VOC نىڭ سىرتقا چىقىپ كېتىش خەۋىپى |
نۆل سىرتقا چىقىش (TML <0.1%) |
NASA SP-R-0022A / ISO 14644-8 |
IPA / تازىلاش خىمىيىلىك قارشىلىق |
ئوتتۇراھال (بوياق قاپارتمىسى) |
بىچارە (يېرىلىش / ساراڭ) |
ئەۋزەل (يۇمشاش / تۆۋەنلەش يوق) |
ASTM D5402 Rub سىنىقى |
قۇرۇلما زىچلىقى (ئېغىرلىقى) |
ئېغىر (7.85 g / cm³) |
نۇر (1.05 - 1.20 g / cm ⊃3; ) |
يېنىك (2.70 g / cm ⊃3; ) |
كونكرېت تارتىش كۈچى سىنىقى |
EMC / EMI قالقان ئۈنۈمى |
ياخشى (60 - 75 dB) |
نامرات (<15 dB) |
Superior (> 85 - 100 dB) |
IEEE-299 قالقان سىنىقى |
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ تازىلاش ئۆيى ماشىنا ئادەملىرىنىڭ ئاساسلىق كەسپىي ئەۋزەللىكى
ESD ھادىسىنىڭ ئالدىنى ئېلىش ۋە ھوسۇلنى قوغداش
بىخەتەر يەر ئاستى يولى: ئۆتكۈزگۈچكە قارشى تۇرغۇچى سىر سىرتقى قېپىدىن ئاليۇمىن رامكا ئارقىلىق بىۋاسىتە ماشىنا ئادەمنىڭ ئۆتكۈزگۈچ ESD چاقى ياكى يەر ئاستى چوتكىسىغىچە يوچۇقسىز ئېلېكتر يولى بىلەن تەمىنلەيدۇ ، سەزگۈر ۋافون ئۇۋىسىنىڭ يېنىدىكى تۇيۇقسىز ئېلېكتر سىستىمىسىنى يوقىتىدۇ.
كونترول قىلىنىدىغان ئېنېرگىيەنىڭ تارقىلىشى: تۇراقلىق توكنى بىخەتەر ، كونترول قىلىنىدىغان سۈرئەتتە چىقىرىپ ، قاتتىق فاب ESD بىخەتەرلىك كېلىشىمنامىسىنى قاندۇرۇش ئارقىلىق يۇقىرى بېسىملىق ئۇچقۇننىڭ ئالدىنى ئالىدۇ.
Micro-Partic Exclusion & Cleanroom ISO 1 Class Compliance
ئېلېكتىروستاتىك زەررىچىلەرنى جەلپ قىلىش: يەر يۈزى يوشۇرۇن كۈچىنى ساقلاپ قېلىش ئارقىلىق ، ھاۋادىكى مىكرو مىكرو توپا ۋە كرېمنىي يوپۇقلىرى ماشىنا ئادەم گەۋدىسىگە تارتىلمايدۇ ، بۇ ماشىنا ئادەمنىڭ بۇلغىنىشنى ھالقىلىق بىر تەرەپ قىلىش قولتۇقىغا ئېلىپ كىرىشىنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ.
نۆل زەررىچە پارچىلىنىش ياكى پارچىلىنىش: ساقايغان تېرموسېتنىڭ تۇراققا قارشى قەۋىتىدە دەرىجىدىن تاشقىرى يۇقىرى سىزىلىشقا قارشى تۇرۇش ئىقتىدارى بار (> 2H قەلەم قاتتىقلىقى) ، تازىلىق ئۆيىنىڭ لامنار ھاۋا ئېقىمىغا تۆكۈلگەن سىرنىڭ يوقلۇقىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ.
ئېلېكتر ماگنىتلىق قالقان ۋە قۇرۇلمىلىق يۈكنى ئەلالاشتۇرۇش
يۇقىرى چاستوتىلىق EMI ئايرىمىسى: ئاستىدىكى ئاليۇمىن قېتىشمىسى قېپى فاراداي قەپەس رولىنى ئوينايدۇ ، سەزگۈر LiDAR سېنزورى ، ئوپتىكىلىق كامېرا ۋە سىمسىز خەۋەرلىشىشنى ئىچكى ماتورلۇق قوزغاتقۇچ ئالماشتۇرۇش شاۋقۇنىدىن قوغدايدۇ (10 kHz - 10 GHz).
24/7 مەشغۇلات ۋاقتىنىڭ ئۇزارتىلغان ۋاقتى: پولاتنىڭ زىچلىقىنىڭ ئۈچتىن بىرىدە (2.7 g / cm³) مەشغۇلات قىلغاندا ، يېنىك دەرىجىدىكى ئاليۇمىن قېپى AMR نىڭ چەكلەش ئېغىرلىقىنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرۈپ ، ئېغىر تەكشۈرۈش ئۈسكۈنىلىرىنىڭ باتارېيە دائىرىسىنى ۋە يۈك سىغىمىنى چوڭايتىدۇ.
تارقاق نانو كاربون ۋە مېتال ئوكسىد ماترىكىس
تۇراقلىق ھالەتتىكى ئاليۇمىن قېتىشمىسى فتوروپولىمېر ياكى پولىئۇرېتان باغلىغۇچىغا تارقالغان ئۆتكۈزگۈچ نانو تولدۇرغۇچ (كاربون نانو قۇتىسى ، ئىندىي قەلەي ئوكسىد ياكى پولىئانىنغا ئوخشاش) ئىشلىتىلىدۇ:
كونترول قىلىنىدىغان يەر يۈزىگە قارشى تۇرۇش دائىرىسى: تۇراقلىق تارقىلىش كۆزنىكىدە (ھەر بىر ANSI / ESD S20.20 ⁶ 10⁶ - 10⁹ Ω / sq) ئىنژېنېر بولۇپ ، تېز چاقماق (بەك ئۆتكۈزگۈچ ، <10⁴ Ω) ۋە تۇراقلىق يىغىلىشتىن ساقلىنىدۇ (بەك ئىزولياتورلۇق ،> 10⊃1; ⊃1; Ω).
تېز توك قاچىلاشنىڭ بۇزۇلۇش ۋاقتى: يەر ئاستى تەگلىك ئۇلىنىشى ئارقىلىق 0.05 سېكۇنت ئىچىدە ترىبو ئېلېكتر تۇراقلىق توك بېسىمىنىڭ> 1000 V دىن <10 V غىچە تۆۋەنلىشىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ.
Outgassing & Chemical Resistance (IPA / VHP)
نۆل مولېكۇلا بۇلغىنىشى: تازىلىق ئۆيى مۇھىتى ئىنتايىن تۆۋەن ئۆزگىرىشچان ئورگانىك بىرىكمە (VOC) دىن ئېشىپ كەتكەن ماتېرىياللارنى تەلەپ قىلىدۇ (ئومۇمىي زىيان <0.1%).
دېزىنفېكسىيە دورىسى خىمىيىلىك ئۈنۈمسىزلىكى: Isopropyl ئىسپىرت (IPA 70/30) ، ھىدروگېن پېروكسىد ھور (VHP) ۋە دىئونسىزلانغان سۇنى ئىشلىتىپ ئۇدا پاكىز تازىلانغان سۈرتكۈچلەرنىڭ بۇزۇلۇشىغا قارشى تۇرىدۇ.
ئېستېتىك ۋە خىرومسىز ئايلاندۇرۇش قەۋىتى
ئىنچىكە CNC ماشىنىسازلىق ۋە ئوكسىدلىنىش: 5052-H32 ياكى 6061-T6 ئاليۇمىن قېتىشمىلىق قەغەز CNC شەكىللەنگەن ، لازېر كېسىلگەن ۋە خىمىيىلىك ئۇسۇلدا تەبىئىي ئوكسىد ۋە يەر يۈزىدىكى ماينى تارتىۋالىدۇ.
تىتان-زىركونىينىڭ پاسسىپ قەۋىتى: دەرىجىدىن تاشقىرى نېپىز ئۆتكۈزگۈچ ئايلاندۇرۇش پىلاستىنكىسى ئىشلىتىپ ، خام ئاليۇمىن يادرو بىلەن تارقىلىدىغان تاشقى سىرنىڭ يوچۇقسىز ئېلېكتر سىجىللىقىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ.
ئېلېكتر سىستىمىلىق پۈركۈش ۋە تازىلاش ئۆيىنى داۋالاش
يېپىق ھالەتتىكى پاراشوك / سۇيۇقلۇق پۈركۈش: 100-نومۇرلۇق تازىلىق ئۆيىدىكى ئاپتوماتىك ئېلېكترو سىتاتىك پۈركۈش مىلتىقى بىلەن ئۆتكۈزگۈچكە قارشى تۇرغۇچى چاپلاق (25 مىللىمېتىر - 50 مىللىمېتىر) ئىشلىتىلىدۇ ، چاڭ-توزاننىڭ سۈمۈرۈلۈشىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ.
يۇقىرى تېمپېراتۇرا ھالقىغان تورت: ئىسسىقلىق بىلەن داۋالاش پولىمېر ماترىسسانى پېچەتلەيدۇ ، مىكروسكوپتىك پىنخولنى يوقىتىدۇ ۋە مەشغۇلات جەريانىدا بوياقنىڭ ئېقىشى ياكى زەررىچىلەرنىڭ لەپىلدەپ كېتىشىنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ.
ئېنىق CMM تەكشۈرۈش ، ESD سىناق ۋە ۋاكۇئۇم ئورالمىسى
Surface Resistance & Continuity Audit:% 100 سىناق ئارقىلىق يەر يۈزىنىڭ قارشىلىق كۆرسەتكۈچىنى ئىشلىتىپ بارلىق قېپىنىڭ ئۇدۇلىدا ANSI / ESD STM11.11 نىڭ ماسلاشقانلىقىنى دەلىللەيدۇ.
قوش قەۋەتلىك تازىلىق ئۆيى ۋاكۇئۇم ئورالمىسى: تەييار ماشىنا ئادەم قېپى دەرىجىدىن تاشقىرى ساپ DI سۈيى بىلەن پاكىزلىنىدۇ ، ئىئونلانغان ئازوت (N air ) بىلەن ھاۋادا ئۇرۇلۇپ ، تۇراقلىق ھالەتتىكى PE پىلاستىنكىسىغا قوش خالتا قاچىلانغان ، ۋاكۇئۇم پېچەتلەنگەن.
سوئال
1-سوئال: نېمە ئۈچۈن تازىلىق ئۆيىنى تەكشۈرۈش ماشىنا ئادەملىرى ئۆلچەملىك ئانودلاشتۇرۇلغان ئاليۇمىن ئىشلىتەلمەيدۇ؟
جاۋاب: ئۆلچەملىك ئېنىق ئانودلاش ئاليۇمىن ئوكسىد قەۋىتىنى ( Al ₂ O forms) شەكىللەندۈرىدۇ ، ئۇ ئېلېكتر ئىزولياتور رولىنى ئوينايدۇ ( > 10 ⊃1; ⊃2; Ω ). بۇ ئىزولياتسىيىلىك قەۋەت يەر يۈزىدىكى ئۈچبۇلۇڭلۇق توكنى قاپلاپ ، سەزگۈر ۋافېر ئېلېكترون مەھسۇلاتلىرىغا يېقىن جايدا يۇقىرى ESD خەۋىپى پەيدا قىلىدۇ.
2-سوئال: تۇراقلىققا قارشى سىرنىڭ تولۇق ئۆتكۈزگۈچ سىر بىلەن قانداق پەرقى بار؟
جاۋاب: تولۇق ئۆتكۈزگۈچ سىر ( <10 ⁴ Ω ) تۇراقلىق توكنىڭ شۇ ھامان دېگۈدەك قويۇپ بېرىشىگە يول قويىدۇ ، بۇ ئالاقىلاشقاندا ئېغىر مىكرو چاقماق پەيدا قىلىدۇ. تۇراققا قارشى (تۇراقلىق تارقىلىشچان) سىرلار ( 10⁶ - 10 ⁹) قوزغالماي ئاستا-ئاستا بىخەتەر قان ئالىدۇ.
3-سوئال: Isopropyl ئىسپىرت (IPA) بىلەن دائىم سۈرتۈش تۇراققا قارشى تۇرۇش خۇسۇسىيىتىنى يوقىتامدۇ؟
جاۋاب: ياق. ۋاقىتلىق يەر يۈزىگە قارشى تۇرغۇچى پۈركۈشلەرگە ئوخشىمايدىغىنى ، مەڭگۈلۈك ساقايغان چاپلاقلار IPA ياكى تازىلاش ئېرىتمىسى بىلەن يۇيمايدۇ ياكى سۈرمەيدۇ.
4-سوئال: تۇراققا قارشى ئاليۇمىن قېپىنىڭ ئېغىرلىقى تازىلىق ئۆيىنىڭ AMR ئىقتىدارىغا قانداق تەسىر كۆرسىتىدۇ؟
جاۋاب: ئاليۇمىننىڭ تۆۋەن زىچلىقى ( 2.7g / cm³ ) پولات چىۋىققا سېلىشتۇرغاندا ماشىنا ئادەمنىڭ ئومۇمىي ئېغىرلىقىنى تۆۋەنلىتىدۇ ، بۇنىڭ بىلەن كىچىك قوزغاتقۇچ ماتور ، تازىلىق ئۆيىنىڭ ئىچىدە ئىسسىقلىق تارقىتىش نىسبىتى تۆۋەن بولىدۇ ، % 20 -% 30 كە يېتىدۇ. توك قاچىلاش دەۋرىيلىكى ئارىسىدىكى باتارېيەنىڭ مەشغۇلاتى
5-سوئال: تۇراققا قارشى قېپىنىڭ نورمال ئىشلىنىشىگە قانداق كاپالەتلىك قىلىش مېخانىزمى تەلەپ قىلىنىدۇ؟
جاۋاب: ئۆتكۈزگۈچ سىر سىرسىز ، ئۆتكۈزگۈچ ئايلاندۇرۇش نۇقتىسى ئارقىلىق ئاليۇمىن تەگلىك بىلەن توكقا ئۇلىنىشى كېرەك. ئاندىن تەگلىك ئۆتكۈزگۈچ ESD بىخەتەر قاپقاق ياكى ئۇدا يەر يۈزى چوتكىسى ئارقىلىق فابنىڭ ESD قەۋىتىگە تېگىش ئارقىلىق يەر يۈزىگە ئۇلىنىدۇ.
خۇلاسە
تۇراقلىققا قارشى سىرلانغان ئاليۇمىن قېپى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ تازىلىق ئۆيىنى تەكشۈرۈش ماشىنا ئادەملىرىنىڭ مەجبۇرىي قۇرۇلۇش تەلىپىگە ۋەكىللىك قىلىدۇ ، ئومۇمىي ESD بىخەتەرلىكى ، نۆلدىن ئېشىپ كېتىش ، يۇقىرى خىمىيىلىك قارشىلىق ۋە يېنىك قۇرۇلمىلىق قوغداش بىلەن تەمىنلەيدۇ.
تازىلىق ئۆيى ماشىنا ئادەملىرىنىڭ ماتېرىيال تاللىشىنى ئەلالاشتۇرۇش:
تۇراقلىق تارقىلىشچان يەر يۈزىنىڭ چىدامچانلىقىنى بەلگىلەڭ (10⁶ - 10⁹ Ω / sq): ANSI / ESD S20.20 ۋە ASTM D257 ئۆلچىمىگە سىناق قىلىنغان نانو ئۆتكۈزگۈچ فتوروپولىمېر ياكى پاراشوك يېپىنچىسى.
5052-H32 ياكى 6061-T6 ئاليۇمىن قېتىشمىسىنى تاللاڭ: 5052-H32 نى مۇرەككەپ ئەگرى سىزىقلىق تاشقى تاختايغا ئىشلىتىڭ ، ھەمدە قۇرۇلما تەگلىك ئاساسى ۋە ئىچكى ئورنىتىش رامكىسى ئۈچۈن 6061-T6 نى زاپاسلاڭ.
خىمىيىلىك قارشىلىق كۆرسىتىش ۋە سىرتقا چىقىپ تەكشۈرۈشنى كۈچەيتىش: سىر بىلەن تەمىنلىگۈچىلەرنىڭ 200+ IPA سۈرتۈلگەن دەۋرىيلىككە قارشى تۇرۇش كۈچىنى دەلىللىشىگە كاپالەتلىك قىلىڭ ھەمدە NASA SP-R-0022A ئېتىراپ قىلىنغان سىرتقا چىقىش دوكلاتى بىلەن تەمىنلەڭ (TML <0.1% ، CVCM <0.01%).
English
العربية
Français
Русский
Español
Português
Deutsch
italiano
日本語
한국어
Nederlands
Tiếng Việt
ไทย
Polski
Türkçe
ភាសាខ្មែរ
Bahasa Melayu
Filipino
Bahasa Indonesia
magyar
Română
Čeština
Монгол
हिन्दी
فارسی
Slovenčina
Slovenščina
Norsk
Svenska
Ελληνικά
Suomi
Latine
Dansk
Shqip
Hrvatski
Afrikaans
Gaeilge
Eesti keel
latviešu
Azərbaycan dili
Беларуская мова
ქართული
íslenska
Kinyarwanda
Lietuvių
Lëtzebuergesch
Македонски
Malti
Türkmençe
ئۇيغۇرچە
Cymraeg
