ហេតុអ្វីបានជាមនុស្សយន្តអធិការកិច្ច Cleanroom ទាមទារបន្ទះអាលុយមីញ៉ូមស្រោបប្រឆាំងនឹងស្តូក?

មនុស្សយន្តត្រួតពិនិត្យស្វយ័តដែលដំណើរការនៅក្នុងបរិស្ថានបន្ទប់ស្អាត ISO ថ្នាក់ទី 1 ដល់ថ្នាក់ទី 5 ដូចជារោងចក្រផលិតសារធាតុ semiconductor កន្លែងកែច្នៃឱសថ និងបន្ទាត់ផលិតអេក្រង់រាបស្មើ - ត្រូវតែអនុវត្តការត្រួតពិនិត្យជាបន្តដោយមិនបង្ហាញពីហានិភ័យនៃការចម្លងរោគនៃភាគល្អិតតូចៗ ឬការឆក់អគ្គិសនី (ESD) ។ ការផ្លាស់ទីសមាសធាតុតួមនុស្សយន្តបង្កើតការគិតថ្លៃ triboelectric ដោយធម្មជាតិតាមរយៈចលនា និងការកកិតខ្យល់ ទាក់ទាញភាគល្អិតដែលឆ្លងតាមខ្យល់ និងបង្កគ្រោះថ្នាក់ដល់ការបញ្ចេញទឹករំអិលដ៏មហន្តរាយចំពោះស៊ីលីកុន wafers និងឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាមីក្រូអេឡិចត្រូនិច។

ការប្រើប្រាស់ បន្ទះអាលុយមីញ៉ូមស្រោបដោយប្រឆាំងនឹងឋិតិវន្ត (0.50 mm–3.00 mm, ធន់នឹងផ្ទៃ 10⁶ - 10⁹  Ω/ sq លើ 3000-series ឬ 5000-series alloys ផ្តល់នូវការរួមបញ្ចូលគ្នាដ៏ល្អប្រសើរនៃការរំសាយអេឡិចត្រូស្តាតសកម្ម ភាពរឹងនៃរចនាសម្ព័ន្ធទម្ងន់ស្រាល និងការសម្អាតបន្ទប់ដោយមិនមានសំណល់គីមី។

Triboelectric Charge Generation & គ្រោះថ្នាក់ ESD

មនុស្សយន្តដែលរុករកបន្ទប់សម្អាត semiconductor បង្កើតអគ្គិសនីឋិតិវន្តតាមរយៈការកកិតតួ និងចលនាលឿន៖

ការខូចខាត Wafer & Microchip: ការហូរចេញឋិតិវន្តដែលមិនអាចគ្រប់គ្រងបានលើសពី 50 V អាចបណ្តាលឱ្យមានការបំបែក gate-oxide នៅក្នុង wafers silicon node ដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ដែលបណ្តាលឱ្យបរាជ័យសមាសធាតុដែលមិនអាចត្រឡប់វិញបាន។

ការជ្រៀតជ្រែករបស់ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា៖ វាលអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិចខ្ពស់បង្កើតសំឡេងរំខានអេឡិចត្រូម៉ាញ៉េទិច រំខានឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា LiDAR អុបទិកនៅលើយន្តហោះ កាមេរ៉ាមើលឃើញម៉ាស៊ីន និងឧបករណ៍បំលែងកូដដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់។

ភាពងាយរងគ្រោះនៃការទាក់ទាញភាគល្អិត និងការបញ្ចេញឧស្ម័ន

លោហៈស្ដង់ដារដែលមិនបានព្យាបាល និងផ្លាស្ទិចអ៊ីសូឡង់បរាជ័យ តម្រូវការប្រតិបត្តិការបន្ទប់ស្អាត៖

សែលផ្លាស្ទិចអ៊ីសូឡង់ទល់នឹងបន្ទះអាលុយមីញ៉ូមស្រោបប្រឆាំងនឹងឋិតិវន្ត

ការទាក់ទាញដោយភាគល្អិត៖ វត្ថុធាតុអ៊ីសូឡង់ប្រមូលផ្តុំបន្ទុកឋិតិវន្តខ្ពស់ ដើរតួជា 'មេដែក' សម្រាប់ភាគល្អិតតូចៗដែលក្រោយមកត្រូវបានបង្ហូរទៅលើខ្សែដំណើរការដែលស្អាតបំផុត។

ការបញ្ចេញឧស្ម័ន និងការរិចរិលគីមី៖ ថ្នាំលាបធម្មតា និងសារធាតុប៉ូលីម៊ែរឆៅបញ្ចេញសារធាតុសរីរាង្គដែលងាយនឹងបង្កជាហេតុ (VOCs) ឬរលាយចេញនៅពេលជូតជាមួយនឹងថ្នាំសំលាប់មេរោគក្នុងបន្ទប់ស្អាតដូចជា Isopropyl Alcohol (IPA)។

ម៉ាទ្រីសបញ្ជាក់បច្ចេកទេស៖ Cleanroom Robot Shell Panels

តារាងខាងក្រោមបង្ហាញពីលក្ខណៈបច្ចេកទេសសម្រាប់សន្លឹកអាលុយមីញ៉ូមស្រោបប្រឆាំងនឹងឋិតិវន្តដែលបានរចនាឡើងសម្រាប់សម្អាតសែលមនុស្សយន្ត៖

គុណសម្បត្តិនៃការអនុវត្តនៅក្នុង Cleanroom មនុស្សយន្តត្រួតពិនិត្យ

សំណួរគេសួរញឹកញាប់

សំណួរទី 1: ហេតុអ្វីបានជាអាលុយមីញ៉ូមស្រោបប្រឆាំងនឹងឋិតិវន្តត្រូវបានគេពេញចិត្តជាងអាលុយមីញ៉ូម anodized ស្តង់ដារសម្រាប់មនុស្សយន្ត cleanroom?

A: ខណៈពេលដែលស្រទាប់ anodized ស្ដង់ដារដើរតួជាអ៊ីសូឡង់អគ្គិសនីដែលអាចចាប់បន្ទុកឋិតិវន្តលើផ្ទៃ អាលុយមីញ៉ូមស្រោបប្រឆាំងនឹងឋិតិវន្តផ្តល់នូវចរន្តអគ្គិសនីដែលបានគ្រប់គ្រង (10⁶ - 10⁹  Ω/ sq) បន្តបង្ហូរបន្ទុក triboelectric ដោយសុវត្ថិភាពដល់ដី។

សំណួរទី 2: តើទ្រព្យសម្បត្តិប្រឆាំងនឹងឋិតិវន្តមានរយៈពេលប៉ុន្មាននៅក្រោមការជូតគីមីបន្ត?

ចម្លើយ៖ បន្ទះប្រឆាំងនឹងឋិតិវន្តដែលស្រោបជាមុនដែលមានគុណភាពខ្ពស់ប្រើប្រាស់ម៉ាទ្រីសវត្ថុធាតុ polymer ឆ្លងភ្ជាប់ជាមួយនឹងសារធាតុបន្ថែមចរន្តដែលបានបង្កប់ជាអចិន្ត្រៃយ៍។ ពួកគេទប់ទល់នឹងការពាក់ពីជាតិអាល់កុល Isopropyl ប្រចាំថ្ងៃ (IPA) និងការលាងសម្អាតថ្នាំសំលាប់មេរោគដោយមិនបាត់បង់ប្រសិទ្ធភាព ESD ។

សំណួរទី 3: តើថ្នាំកូតប្រឆាំងនឹងឋិតិវន្តបញ្ចេញឧស្ម័នសរីរាង្គងាយនឹងបង្កជាហេតុ (VOCs) នៅក្នុងបរិយាកាសខ្វះចន្លោះឬបន្ទប់ស្អាតទេ?

ចម្លើយ៖ ទេ ការ​ព្យាបាល​ដោយ​កម្ដៅ​ក្នុង​អំឡុង​ពេល​ដំណើរ​ការ​ការ​ស្រោប​ជា​បន្ត​ធានា​នូវ​ការ​ហួត​សារធាតុ​រំលាយ​ពេញលេញ ដែល​ផ្តល់​លទ្ធផល​នូវ​ការ​វាស់​ស្ទង់​ការ​បញ្ចេញ​ឧស្ម័ន​ទាប (TML < 1.0%, {CVCM < 0.1%) អនុលោម​តាម​ស្តង់ដារ NASA និង ISO cleanroom។

សំណួរទី 4: តើការវេចខ្ចប់ការពារអ្វីខ្លះដែលត្រូវបានប្រើដើម្បីការពារការចម្លងរោគលើផ្ទៃកំឡុងពេលដឹកជញ្ជូន?

ចម្លើយ៖ សន្លឹកប្រឆាំងនឹងឋិតិវន្តទាំងអស់ត្រូវបានស្រោបដោយខ្សែភាពយន្តការពារ PE ដែលត្រូវគ្នានឹងបន្ទប់សម្អាត ដែលបិទជិតដោយសារធាតុប្រឆាំងនឹងការ corrosion VCI និងសារធាតុ desiccants និងខ្ចប់ក្នុងប្រអប់ឈើដែលមិនមានក្លិនស្អុយ ដើម្បីការពារផលប៉ះពាល់រាងកាយ ឬការប៉ះពាល់នឹងធូលីក្នុងអំឡុងពេលដឹកជញ្ជូន។

សំណួរទី 5: តើក្រុមវិស្វកម្មផ្នែករឹងគួរដាក់សំណើវាយតម្លៃដោយរបៀបណា?

ចម្លើយ៖ ក្រុមវិស្វកម្មគួរតែផ្ញើគំរូគំរូគោល ឬគំនូរដោយផ្ទាល់ទៅ Changzhou Dingang Metal Material Co., Ltd. មន្ទីរពិសោធន៍បច្ចេកទេសរបស់យើងនឹងធ្វើការផ្ទៀងផ្ទាត់លោហធាតុ ការធ្វើតេស្តកម្រាស់ថ្នាំកូត និងការត្រួតពិនិត្យភាពស្អិតជាប់ ដោយផ្តល់នូវរបាយការណ៍បច្ចេកទេសលម្អិត និងការដកស្រង់។

សេចក្តីសន្និដ្ឋាន

ការរួមបញ្ចូល បន្ទះអាលុយមីញ៉ូមដែលស្រោបដោយសារធាតុប្រឆាំងនឹងឋិតិវន្ត ចូលទៅក្នុងមនុស្សយន្តត្រួតពិនិត្យបន្ទប់ស្អាត លុបបំបាត់ហានិភ័យនៃការឆក់អគ្គិសនី ការពារការប្រមូលផ្តុំភាគល្អិត និងធានាបាននូវការអនុលោមតាមស្តង់ដារអនាម័យ ISO កម្រិតខ្ពស់។

ដើម្បីបង្កើនប្រសិទ្ធភាពការជ្រើសរើសសម្ភារៈសម្រាប់គម្រោង cleanroom robot shell របស់អ្នក៖

អាណត្តិ ESD Surface Resistivity Parameters៖ បញ្ជាក់បង្អួចទប់ទល់ផ្ទៃគោលដៅនៃ 10⁶ - 10⁹  Ω/ sq និងដងបំបែកឋិតិវន្តក្រោម 0.1 វិនាទី។

ជ្រើសរើសថ្នាក់ស្រទាប់ខាងក្រោមតាមតម្រូវការទម្រង់៖ ជ្រើសរើស 3003-H14/H24 សម្រាប់គម្របដែលគូរស្មុគស្មាញ។ បញ្ជាក់ 5052-H32 សម្រាប់ចានតួដែលមានរចនាសម្ព័ន្ធរឹង។

ចាប់ដៃគូជាមួយអ្នកឯកទេសកែច្នៃដែលមានការបញ្ជាក់៖ ធ្វើការជាមួយអ្នកផ្គត់ផ្គង់អាលុយមីញ៉ូមមុខងារដែលមានបទពិសោធន៍ដូចជា Changzhou Dingang Metal Material Co., Ltd. ដើម្បីវាយតម្លៃគំរូរូបវន្តគោលដៅ ផ្ទៀងផ្ទាត់រង្វាស់ដែលហៀរចេញ និងធានាសុវត្ថិភាពបន្ទះដែលមានភាពជាក់លាក់។