Wafli robot gabyklaryny dolandyrmak üçin örtülen alýumin plitalarda näme üçin mikro tekizlik möhüm?

Ondarymgeçiriji önümçilik zawodlary (fabs) fotolitografiýa, efir we himiki mehaniki planarizasiýa (CMP) iş gurallarynyň arasynda ultra inçe, gaty gowşak kremniy wafli geçirmek üçin awtomatiki wafli işleýän robotlara bil baglaýar. -Okary wakuum kameralarynyň we ISO 1-nji synpdan 5-nji synp otaglarynyň içinde işleýän bu ahyrky effektler we robot gol berkitmeleri aşaky mikron pozisiýa takyklygy bilen aşa tizlenme we tizlenme profilini ýerine ýetirýär.

Robotyň daşky gurluş gabygyndaky islendik mikro siňdiriş, galyndy içerki stres ýa-da ýerüsti tekizlik dinamiki yrgyldy reesimlerine, laminar arassalaýyş otaglarynyň içindäki howa akymynyň turbulentligine we ahyrky effektleriň deňleşmegine sebäp bolýar. Geçiş mikro tekiz örtükli alýumin plitalary (5052-H111, 6061-T651 ýa-da 7075-T651 ýaly stresden goraýan, takyk tegelek garyndylary ulanmak bilen)

Düzümiň gysylmagy, ahyrky effektiň süýşmegi we waferiň ýalňyşlygy

Robot ýaraglary bilen işleýän wafli, ýokary tizlikde köp müň dollarlyk kremniy wafli hereket edýär:

Positionerleşiş ulaldylyşy: Goltugyň binýadyndaky kiçijik mikro tekizlik kemçiligi (~ 0,3 mm) uzaldylan ahyrky effektiň ujunda köp millimetrlik gyşarmalara öwrülip, ​​katastrofiki wafliň gaçmagyna ýa-da kasetanyň çaknyşmagyna sebäp bolýar.

Rezonans garmoniki güýçlendirme: Tekiz däl gabyk, duýdansyz başlangyç tork profillerinde titreýär. Bu parazit titremeler, näzik wafli oturgyjyny bozup, robot şassisiniň üsti bilen köpelýär.

Aerodinamiki turbulentlik we arassa otag

Meýilleşdirilmedik gabyk ýüzleri arassa otagyň daşky gurşaw gözegçiligini bozýar:

Standart list metal gabyk vs. Mikro tekiz örtükli alýumin plastinka

Arassa otagyň howa akymynyň bozulmagy: Robot gollarynyň gabyklarynda mikro-tolkun, dik laminar howa akymlarynda mikro-wortlara sebäp bolýar, kremniý wafli töweregindäki howa bölejiklerini gabýar.

Zyýanly hapalanma: Örtülmedik ýa-da pes taýýar metal örtükler wakuum ýük gulplaryndaky organiki molekulalardan öňe geçip, mikroskopik oksid tozanyny ýa-da duzak ýaglaryny dökýär.

 Wafer robot gabyk materiallary

Aşakdaky tablisada ýarymgeçiriji wafli robot jaýlarynda ulanylýan materiallar üçin esasy in engineeringenerçilik parametrleri deňeşdirilýär:

Wafer bilen işleýän robot gabyklarynyň esasy artykmaçlyklary

Sorag-jogap

1-nji sorag: Näme üçin mikro tekizlik robot gabyklaryny umumy senagat robot örtüklerinden has möhümdir?

J: Wafli işleýän gollar, kassetanyň içindäki sub-mikron takyklygy bilen kremniý wafli ýerleşdirmek üçin iki metre çenli uzalýar. Housingaşaýyş jaý bazasyndaky mikro tekizlikdäki ýalňyşlyklar, goluň uzynlygyndan çaltlyk bilen giňelýär we ahyrky effektleriň gabat gelmezligine we gyrasynyň zeperlenmegine sebäp bolýar.

2-nji sorag: Giňişleýin CNC jübüsinde 6061-T651 çişmeginiň öňüni nädip alýar?

J: 6061-T651 ýylylyk bejergisinden soň gözegçilik edilýän uzalmany başdan geçirýär ( 1% –3% ), içerki galyndy stresleri ýeňilleşdirýär. Haçan-da robot robot gabygyny ýeňilleşdirmek üçin işlenilende, tabak egilmezden ýa-da egilmezden tekiz bolýar.

3-nji sorag: Takyk alýumin plitalarda mikro tekizligi saklamak üçin haýsy örtük galyňlygy maslahat berilýär?

J: Örtügiň galyňlygy aralygynda berk saklanmalydyr . 10μm-25 μm awtomatiki ýapyk görnüşli pürküji ýa-da rolikli örtük ulanyp, Birmeňzeş däl örtük galyňlygy ýerüsti birmeňzeşligi üýtgedýär we datçigiň gurnama maglumatlaryny bozýar.

4-nji sorag: Mikro tekiz örtükli alýumin gabyklary ISO 1-nji arassa otag standartlaryna laýyk gelmäge nähili kömek edýär?

J: Mikro tekiz plitalar arassalanan otagy howa akymyny tertipleşdirýär, howadan çykýan bölejikleri duzak astyna alýan mikro-wortlaryň öňüni alýar. Mundan başga-da, pes örtükli örtükler metalyň çişmeginiň öňüni alýar we wakuum kameralarynyň içindäki organiki bug zyňyndylaryny saklaýar.

5-nji sorag: Takyk mikro tekiz alýumin plitalary ibermek üçin haýsy gorag gaplamasy zerur?

J: Plastinalar kislotasyz, çyzylmaýan kagyz bilen birleşdirilip, desantlar bilen VCI poslama garşy barýer filmine örtülendir, arassalaýyş torbalarynyň içinde vakuum bilen möhürlenendir we üstaşyr geçiş sahypalarynyň ýa-da zeper ýetmeginiň öňüni almak üçin agyr tüsse çykarmaýan agaç gaplara tekiz gaplanýar.

Netije

Görkezmek Wafli işlemek üçin robot gabyklary üçin mikro tekiz örtükli alýumin plitalary iň ýokary pozisiýa takyklygyny, dinamiki yrgyldy nemlendirilmegini we arassa otagyň umumy ygtybarlylygyny üpjün edýär.

Ondarymgeçirijini geçirmek robot programmasy üçin material saýlamasyny optimizirlemek üçin:

Stretcher-Level T651 Tempers-i kesgitläň: Köp okly CNC işleýiş wagtynda ölçeg durnuklylygyny kepillendirmek üçin 6061-T651 ýa-da 7075-T651 stresden boşadylýan plitalary görkeziň.

Mandate Sub-Micron tekizligi we gödeklik çäkleri: ≤ 0.1mm / m we tekizligiň çydamlylygy Ra ≤ 0.2μm aralygynda lazer interferometr barlagyny talap ediň.

ASTM E595 Wakuumyň çykarylyşynyň laýyklygyny barlaň: Statik-ýaýradyjy ýa-da goraýjy funksional örtükleriň howa giňişligindäki wakuumdan ýokary görkezijilere laýyk gelýändigine göz ýetiriň (TML <0.10%, CVCM <0.01%).