نېمە ئۈچۈن ۋافېرلىق ماشىنا ئادەم قېپى ئۈچۈن سىرلانغان ئاليۇمىن تاختايلاردا مىكرو تەكشىلىك ئىنتايىن مۇھىم؟

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ توقۇلما زاۋۇتى (فابس) ئاپتوماتىك ۋافېر بىر تەرەپ قىلىش ماشىنا ئادەملىرىگە تايىنىپ ، ئۇلترا نېپىز ، ئىنتايىن نازۇك كرېمنىيلىق ۋافېرنى فوتوگرافىيە ، كاۋچۇك ۋە خىمىيىلىك مېخانىكىلىق پىلانلاش (CMP) جەريان قوراللىرى ئارىسىدا يۆتكەيدۇ. يۇقىرى ۋاكۇئۇملۇق ئۆي ۋە ISO 1-دەرىجىدىن 5-دەرىجىلىك تازىلىق ئۆيىنىڭ ئىچىدە مەشغۇلات قىلىۋاتقان بۇ ئاخىرقى ئۈنۈمدارلار ۋە ماشىنا ئادەم قول قورشاۋلىرى مىكرو مىكرو ئورۇننىڭ توغرىلىقى بىلەن ھەددىدىن زىيادە تېزلىنىش ۋە ئاستىلىتىش ئارخىپىنى ئىجرا قىلىدۇ.

ماشىنا ئادەمنىڭ سىرتقى قۇرۇلما قېپىدىكى ھەر قانداق مىكرو ئۇرۇش ، قالدۇق ئىچكى بېسىم ياكى يەر يۈزى تەكشى بولماسلىق ھەرىكەتچان تەۋرىنىش ھالىتىنى ، لامنار تازىلىق ئۆيىنىڭ ئىچىدىكى ھاۋا ئېقىمىنىڭ داۋالغۇشىنى ۋە ئاخىرقى ئۈنۈمنى توغرىلاشنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. غا ئۆتۈش مىكرو ياپىلاق قاپلانغان ئاليۇمىن تاختايلار (5052-H111 ، 6061-T651 ياكى 7075-T651 قاتارلىق بېسىمنى يەڭگىللىتىدىغان ، ئېنىق سوقۇلغان قېتىشمىلىق قېتىشمىلاردىن پايدىلىنىپ ، ئالاھىدە تۇراقلىق ياكى تۆۋەن دەرىجىدىكى قوغدىنىش پەردىسى بار) مۇتلەق قۇرۇلمىنىڭ كۆپ قۇتۇپلىشىشى ، تەۋرىنىش نەملىكى ۋە تازىلىق ئۆيىنىڭ ماسلىشىشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ.

قۇرۇلما ئۇرۇش ، ئاخىرقى ئۈنۈم قوزغىتىش ۋە ۋافېر ماسلاشماسلىق

ۋافېر ماشىنا ئادەم قوراللىرىنى بىر تەرەپ قىلىش ئارقىلىق نەچچە مىڭ دوللارلىق كرېمنىيلىق ۋافېرنى تېز سۈرئەتتە ھەرىكەتلەندۈرىدۇ:

ئورۇننى چوڭايتىش: قول تۇرالغۇ بازىسىدىكى كىچىككىنە مىكرو تەكشىلىك كەمتۈكلىكى (~ 0.3 مىللىمېتىر) ئۇزارتىلغان ئاخىرقى ئۈنۈم ئۇچىدىكى كۆپ مىللىمېتىرلىق ئورۇننىڭ ئايلىنىشىغا ئۆزگىرىپ ، ئاپەت خاراكتېرلىك ۋافېرنىڭ چۈشۈپ كېتىشى ياكى كاسساتنىڭ سوقۇلۇشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.

رېزونانت گارمونىك كۈچەيتكۈچ: تەكشى بولمىغان قاپ قاپقىقى تۇيۇقسىز قوزغىلىش بۇرۇلۇش مومېنتى ئاستىدا تەۋرىنىدۇ. بۇ پارازىت تەۋرىنىش ماشىنا ئادەم تەگلىكى ئارقىلىق تارقىلىپ ، نازۇك ۋافېرنىڭ ئولتۇرۇشىنى قالايمىقانلاشتۇرىدۇ.

Aerodynamic Turbulence & Cleanroom Outgassing

پىلانسىز قاپنىڭ يۈزى تازىلىق ئۆيىنىڭ مۇھىت كونتروللۇقىغا تەسىر كۆرسىتىدۇ:

ئۆلچەملىك ۋاراق مېتال قېپى بىلەن مىكرو ياپىلاق قاپلانغان ئاليۇمىن تاختا

تازىلىق ئۆيىنىڭ ھاۋا ئېقىمىنىڭ قالايمىقانلىشىشى: ماشىنا ئادەم قول قېپىدىكى مىكرو دولقۇن تىك ۋېرتىكال لامنار ھاۋا ئېقىمىدا مىكرو دولقۇن پەيدا قىلىپ ، ھاۋادىكى دانچىلارنى ئاشكارلانغان كرېمنىي ۋافېر ئەتراپىدا قاپسىلىپ قالىدۇ.

بۇلغىنىشنىڭ بۇلغىنىشى: سىرلانمىغان ياكى ياخشى پۈتمىگەن مېتال قاپقاقلار تۆكۈلگەن مىكروسكوپ ئوكسىد توپىسى ياكى تۇزاق دومىلاش مېيى ، ۋاكۇئۇم يۈك ساندۇقىدىكى ئورگانىك مولېكۇلادىن ئېشىپ كېتىدۇ.

 Wafer ماشىنا ئادەم قېپى ماتېرىياللىرى

تۆۋەندىكى جەدۋەلدە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋافېر ماشىنا ئادەم ئۆيىدە ئىشلىتىلىدىغان ماتېرىياللارنىڭ مۇھىم قۇرۇلۇش پارامېتىرلىرى سېلىشتۇرۇلدى:

ۋافېر ماشىنا ئادەم قېپىنى بىر تەرەپ قىلىشتىكى مۇھىم ئەۋزەللىكلەر

سوئال

1-سوئال: نېمىشقا ئادەتتىكى تەكشىلىكتىكى ماشىنا ئادەم قاپقىقىغا قارىغاندا ، مىكرو تەكشىلىك ماشىنا ئادەم قېپىنى بىر تەرەپ قىلىشتا تېخىمۇ مۇھىم؟

جاۋاب: ۋافېرنى بىر تەرەپ قىلىش قورالى ئىككى مېتىرغا سوزۇلۇپ ، كرېمنىيلىق ۋافېرنى كاسسات ئورنىنىڭ ئىچىدە مىكرو مىكرو ئېنىقلىق بىلەن ئورۇنلاشتۇرىدۇ. تۇرالغۇ بازىسىدىكى مىكرو تەكشىلىكتىكى خاتالىقلار بىلەكنىڭ ئۇزۇنلۇقىنى تېزلىكتە كېڭەيتىپ ، ئاخىرقى ئۈنۈمسىز ماسلاشماسلىق ۋە ۋافېر گىرۋىكىگە زىيان سالىدۇ.

2-سوئال: كەڭ كۆلەمدە CNC يانچۇقىدا 6061-T651 ئۇرۇشنىڭ ئالدىنى قانداق ئالىدۇ؟

جاۋاب: 6061-T651 ئىسسىقلىق بىر تەرەپ قىلىنغاندىن كېيىن كونترول قىلىنغان سوزۇلۇشنى ( % 1 -% 3 ) باشتىن كەچۈرۈپ ، ئىچكى قالدۇق بېسىمنى يەڭگىللىتىدۇ. ماشىنا ماشىنا قېپىنى يېنىكلىتىش ئۈچۈن مېتال پىششىقلاپ ئىشلەنگەندە ، تەخسە باش ئەگمەي ياكى بۇرمىلاپ تەكشى تۇرىدۇ.

3-سوئال: ئېنىق ئاليۇمىن تاختايلاردا مىكرو ياپىلاقلىقنى ساقلاش ئۈچۈن قانداق سىر قېلىنلىقى تەۋسىيە قىلىنىدۇ؟

جاۋاب: قاتتىق ساقلاش كېرەك . 10 مىللىمېتىردىن 25 مىللىمېتىرغىچە ئاپتوماتىك يېپىق ھالقا پۈركۈش ياكى غالتەكلىك سىر ئىشلىتىش ئارقىلىق سىرنىڭ قېلىنلىقىنى تەكشى بولمىغان سىر قېلىنلىقى يەر يۈزىنىڭ كۆپ خىللىقىنى ئۆزگەرتىدۇ ۋە سېنزور ئورنىتىش سانلىق مەلۇماتلىرىنى مۇرەسسە قىلىدۇ.

4-سوئال: مىكرو ياپىلاق سىرلانغان ئاليۇمىن قېپى ISO 1-دەرىجىلىك تازىلىق ئۆيىنىڭ ئۆلچىمىگە قانداق ياردەم بېرىدۇ؟

جاۋاب: مىكرو تەكشى تاختايلار تازىلىق ئۆيىنىڭ تۆۋەن ئېقىمىدىكى ھاۋا ئېقىمىنى راۋانلاشتۇرۇپ ، ھاۋادىكى زەررىچىلەرنى تۇتىۋالىدىغان مىكرو دولقۇننىڭ ئالدىنى ئالىدۇ. بۇنىڭدىن باشقا ، تۆۋەن دەرىجىدىكى سىرلار مېتاللارنىڭ ئېقىپ كېتىشىنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ ۋە ۋاكۇئۇم ئۆي ئىچىدىكى ئورگانىك ھورنىڭ قويۇپ بېرىلىشىنى توختىتىدۇ.

5-سوئال: ئېنىق مىكرو تەكشىلىكتىكى ئاليۇمىن تاختايلارنى توشۇشتا قانداق قوغداش ئورالمىسى تەلەپ قىلىنىدۇ؟

جاۋاب: تەخسە كىسلاتاسىز ، سىزىلمىغان قەغەز بىلەن ئۆز-ئارا گىرەلىشىپ كەتكەن ، VCI چىرىتىشكە قارشى توساق پىلاستىنكىسى بىلەن ئورالغان ، تازىلاش خالتىسىنىڭ ئىچىگە ۋاكۇئۇم ھىم ئېتىلگەن ھەمدە ئېغىر تىپتىكى ئىس-تۈتەكسىز ياغاچ قاپلارغا تەكشى قاچىلانغان بولۇپ ، ئۆتۈشمە ئۇرۇش ياكى تەسىرنىڭ بۇزۇلۇشىدىن ساقلىنىدۇ.

خۇلاسە

بەلگىلەش مىكرو تەكشى سىرلانغان ئاليۇمىن تاختىلىرى ئورۇننىڭ توغرىلىقى ، ھەرىكەتچان تەۋرىنىش نەملىكى ۋە تازىلىق ئۆيىنىڭ ئىشەنچلىكلىكىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ. ۋافېرلىق ماشىنا ئادەم قېپىنىڭ

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ يۆتكەش ماشىنا ئادەم پروگراممىسىنىڭ ماتېرىيال تاللىشىنى ئەلالاشتۇرۇش:

Stretcher-Level T651 تېمپېراتۇرىسىنى بەلگىلەڭ: 6061-T651 ياكى 7075-T651 بېسىمنى يېنىكلىتىش تاختىسىنى بۇيرۇق قىلىپ ، كۆپ ئوقلۇق CNC پىششىقلاپ ئىشلەش جەريانىدا ئۆلچەملىك مۇقىملىققا كاپالەتلىك قىلىڭ.

Mandate Sub-Micron Flatness & Roughness Limits: Lazer interferometer دەلىللەشنى تەلەپ قىلىپ ، ≤ 0.1mm / m ۋە يەر يۈزىنىڭ يىرىكلىكى Ra ≤ 0.2 mm.

ASTM E595 ۋاكۇئۇمنىڭ سىرتقا ماسلىشىشچانلىقىنى تەكشۈرۈپ بېقىڭ: تۇراقلىق تارقىلىشچان ياكى قوغدىغۇچى ئىقتىدار پەردىسىنىڭ قاتتىق ئالەم بوشلۇقى ۋاكۇئۇمنىڭ ئۆلچەم ئۆلچىمىگە يېتىشىگە كاپالەتلىك قىلىڭ (TML <0.10% ، CVCM <0.01%).