Өргөвчтэй харьцах роботын бүрхүүлд зориулж бүрсэн хөнгөн цагаан хавтанд яагаад бичил хавтгай байх шаардлагатай вэ?

Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэх үйлдвэрүүд (фабууд) хэт нимгэн, маш эмзэг цахиур ялтсуудыг фотолитограф, сийлбэр, химийн механик хавтгайжуулалт (CMP) процессын хэрэгслүүдийн хооронд шилжүүлэхийн тулд вафель боловсруулах автомат роботуудад тулгуурладаг. Өндөр вакуумтай камерууд болон ISO 1-ээс 5-р ангиллын цэвэрлэгээний өрөөнд ажилладаг эдгээр төгсгөлийн эффектүүд болон робот гарны хаалтууд нь микроноос доош байрлалтай нарийвчлалтайгаар хэт хурдатгал, удаашруулах профайлыг гүйцэтгэдэг.

Роботын гаднах бүтцийн бүрхүүл дэх аливаа бичил эвдрэл, үлдэгдэл дотоод стресс, гадаргуугийн тэгш бус байдал нь динамик чичиргээний горим, ламинар цэвэр өрөөний камер дотор агаарын урсгалын тогтворгүй байдал, төгсгөлийн эффектийн шугамын шилжилтийг үүсгэдэг. руу шилжиж байна Бичил хавтгай бүрсэн хөнгөн цагаан хавтангууд (5052-H111, 6061-T651, эсвэл 7075-T651 зэрэг тусгай зориулалтын статикийн эсрэг эсвэл бага ялгардаг хамгаалалтын бүрээстэй, даралтыг бууруулсан, нарийвчлалтай тээрэмдсэн хайлшийг ашиглан) нь өрөөний бүтцийн тэгш байдал, чийгшлийг бүрэн хангадаг.

Бүтцийн гажуудал, төгсгөлийн эффектийн шилжилт, өрлөгийн буруу байрлал

Өрөөнд харьцах робот гар нь олон мянган долларын үнэтэй цахиур хавтанг өндөр хурдтайгаар хөдөлгөдөг.

Байршлын томруулалт: Гарны суурийн бага зэргийн бичил хавтгайн согог (~ 0.3 мм) нь сунгасан төгсгөлийн үзүүрт олон миллиметрийн байрлалын хазайлт болж, өрмөнцөр унах эсвэл кассеттай мөргөлдөхөд хүргэдэг.

Резонантын гармоник олшруулалт: Хавтгай бус бүрхүүл нь гэнэтийн зогсолтын моментийн горимд чичирдэг. Эдгээр паразит чичиргээ нь роботын явах эд ангиар дамжин тархаж, нимгэн талст ялтсын суудалд саад учруулдаг.

Аэродинамик үймээн самуун ба цэвэр өрөөн дэх хийг гадагшлуулах

Хавтгай бус бүрхүүлийн гадаргуу нь цэвэр өрөөний орчны хяналтыг алдагдуулдаг.

Стандарт хуудас металл бүрхүүлийн эсрэг Бичил хавтгай бүрсэн хөнгөн цагаан хавтан

Цэвэр өрөөний агаарын урсгалын тасалдал: Роботын гарны бүрхүүл дээрх бичил долгион нь босоо ламинар агаарын урсгалд бичил эргүүлэг үүсгэж, ил гарсан цахиур ялтсуудын эргэн тойронд агаар дахь тоосонцорыг барьж авдаг.

Хий гадагшлуулах бохирдол: Бүрээгүй эсвэл муу боловсруулсан металл бүрхэвч нь микроскопийн ислийн тоосыг асгаж эсвэл өнхрөх тосыг барьж, органик молекулуудыг вакуум ачааллын түгжээнд гадагшлуулдаг.

 Вафер робот бүрхүүлийн материал

Доорх хүснэгтэд хагас дамжуулагч хавтанцартай харьцах роботын орон сууцанд ашигласан материалын инженерийн үндсэн параметрүүдийг харьцуулсан болно.

Өрөөнд харьцах роботын бүрхүүлийн гол давуу талууд

Түгээмэл асуулт

Асуулт 1: Өргөст хавтантай харьцах роботын бүрхүүлд яагаад бичил хавтгай нь ерөнхий үйлдвэрлэлийн роботын бүрээсээс илүү чухал байдаг вэ?

Х: Өргөст ялтастай харьцах гар нь хоёр метр хүртэл сунгаж, цахиур ялтсуудыг микрон бага нарийвчлалтайгаар кассетны үүрэнд байрлуулна. Орон сууцны суурийн бичил тэгш байдлын алдаа нь гарны уртыг экспоненциалтайгаар тэлж, төгсгөлийн эффектийн буруу тохируулга болон өрлөгийн ирмэгийг гэмтээх шалтгаан болдог.

2-р асуулт: 6061-T651 нь CNC халаасыг их хэмжээгээр хийх үед эвдрэхээс хэрхэн сэргийлдэг вэ?

Х: 6061-T651 нь хяналттай сунгалтад ( 1%–3% ) орж, дотоод үлдэгдэл стрессийг арилгадаг. дулааны боловсруулалтын дараа Роботын бүрхүүлийг хөнгөвчлөхийн тулд металыг боловсруулахад хавтан нь бөхийлгөж, мушгихгүйгээр тэгшхэн хэвээр байна.

Асуулт 3: Нарийвчлалтай хөнгөн цагаан хавтан дээр бичил тэгш байдлыг хадгалахын тулд ямар зузаан бүрэхийг зөвлөдөг вэ?

Х: Бүрхүүлгийн зузааныг ийн хооронд хатуу барих ёстой . 10μm-25μm- автомат хаалттай шүрших эсвэл өнхрөх бүрээс ашиглан Бүрхүүлийн жигд бус зузаан нь гадаргуугийн тэгш байдлыг өөрчилдөг бөгөөд мэдрэгчийг суурилуулах өгөгдлүүдийг эвддэг.

Q4: Бичил хавтгай бүрсэн хөнгөн цагаан бүрхүүл нь ISO 1-р ангиллын цэвэр өрөөний стандартыг хангахад хэрхэн тусалдаг вэ?

Х: Бичил хавтгай ялтсууд нь цэвэр өрөөнд доош урсах агаарын урсгалыг сайжруулж, агаар дахь тоосонцорыг барьж буй бичил эргэлтээс сэргийлдэг. Нэмж дурдахад, хий бага ялгаруулдаг бүрээс нь металлын хугарахаас сэргийлж, вакуум камер доторх органик уурын ялгаралтыг зогсооно.

Асуулт 5: Нарийвчилсан бичил хавтгай хөнгөн цагаан хавтанг тээвэрлэхэд ямар хамгаалалтын сав баглаа боодол шаардлагатай вэ?

Х: Ялтсуудыг хүчилгүй, зураасгүй цаасаар нааж, чийг шингээгчтэй зэврэлтээс хамгаалсан VCI хальсанд ороож, цэвэр өрөөний уутанд вакуумаар битүүмжилсэн, дамжин өнгөрөх гажиг, нөлөөллөөс зайлсхийхийн тулд хүнд даацын утаагүй модон хайрцагт савлана.

Дүгнэлт

Тодорхойлж байна Өргөст өрөмтэй харьцах роботын бүрхүүлд зориулсан бичил хавтгай бүрсэн хөнгөн цагаан хавтан нь байрлалын хамгийн дээд нарийвчлал, динамик чичиргээ саармагжуулах, цэвэр өрөөний бүрэн найдвартай байдлыг хангадаг.

Хагас дамжуулагч дамжуулагч роботын програмын материалын сонголтыг оновчтой болгохын тулд:

Дамнуургатай түвшний T651 хэмийг зааж өгнө үү: Олон тэнхлэгт CNC боловсруулах явцад хэмжээсийн тогтвортой байдлыг хангахын тулд 6061-T651 эсвэл 7075-T651 хүчдэлээс ангижруулсан хавтангуудыг зааж өгнө.

Дэд микрон тэгш байдал ба барзгар байдлын хязгаарлалт: ≤ 0.1мм/м, гадаргуугийн тэгш бус байдал Ra ≤ 0.2μm дотор тэгш байдлын хүлцэлийг баталгаажуулсан лазер интерферометрийн баталгаажуулалтыг шаардана.

ASTM E595 вакуум хийн ялгаруулалтын нийцлийг шалгана уу: Статик ялгаруулдаг эсвэл хамгаалалтын функциональ бүрээс нь сансар огторгуйн вакуум гадагшлуулах шалгуур үзүүлэлтүүдийг (TML < 0.10%, CVCM < 0.01%) хангаж байгаа эсэхийг шалгаарай.