PVDFコーティングされたアルミニウムコイル |半導体工場向け無発塵基板

ウェハ処理ベイ、フォトリソグラフィー室、サブファブの還気プレナム、化学機械平坦化 (CMP) エリアなどの半導体製造施設は、厳格な汚染管理基準の下で稼働しています。これらの微小環境では、単一のサブミクロンの浮遊粒子または微量の揮発性有機ガス放出化合物がシリコンウェーハ上に付着し、ナノメートルスケールの回路に架け橋となり、生産歩留まりを破壊する可能性があります。標準的な建築用の塗装済み金属や市販の粉体塗装パネルは、フロントエンドのウェハ製造において重大な運用上のリスクをもたらします。従来の樹脂バインダーは高気流下でチョーク化し、微細な塗料の粉塵を排出しますが、未反応の溶剤可塑剤は空気中の分子汚染物質 (AMC) を継続的に放出し、精密ステッパー レンズやレーザー光学系に凝縮します。さらに、イソプロピルアルコール (IPA)、過酸化水素蒸気、酸性エアミストを使用した毎日の積極的な表面除染により、標準的なコーティングが軟化し、黄変し、微細な亀裂が生じます。

私たちの PVDFコーティングされたアルミニウムコイル は、半導体クリーンルーム エンベロープ用に特別に設計された、認定された非発塵性の化学的に不活性な金属基板を提供します。張力平準化された AA3003-H14 および AA 5052-H32構造合金を利用して、ストリップは自動化された多段階化学不動態化と、高密度 70% Kynar 500® フッ素ポリマー樹脂システムによる連続クリーンルーム ローラー コーティングを受けます。すべての揮発性処理キャリアを除去するために厳密に制御された金属のピーク温度で硬化されたこのコーティングは、ISO クラス 3 クリーンルーム環境まで微粒子脱落ゼロの認定が得られ、極めて低い有機ガス放出、強力な洗浄剤に対する高い耐性、およびクリーンルームのサンドイッチ壁パネル、天井タイル、空調ルーバーに微小亀裂のない成形性を実現します。

製品の利点 

半導体施設では、微粒子の発生を排除し、強力な化学プロトコルに耐え、大規模なフロアプランにわたって構造の平坦性を維持するクリーンルームエンベロープ材料が求められます。当社のPVDFコーティングされたアルミニウムコイル精密ローラー コーティングと制御された熱架橋により、これらの厳しい汚染基準に対応します。高密度フッ素ポリマー トップコートは、顔料粒子を緻密な化学格子内に閉じ込め、オーバーヘッド ファン フィルター ユニットからの高速層流にさらされた場合でも、表面のチョーキング、侵食、微粒子の粉塵を防ぎます。当社のカテナリー オーブン内の高いピーク金属温度により、すべてのキャリア溶媒が完全に揮発し、硬化フィルムから光学リソグ​​ラフィーのミラーに付着する可能性のある有機揮発性物質が実質的に放出されなくなります。張力を平準化した AA3003/AA5052 ベースを使用して配合されたこの材料は、ハニカムコアまたはロックウールサンドイッチ壁パネルに接着剤を積層するための平らでオイルキャニングのない面を提供します。一方、延性コーティングはパネルの端に沿って微小な亀裂や剥離を起こすことなく 1.0T まで曲がります。完成済みのクリーンルーム対応コイルをモジュラー パネル ラインに直接提供することで、プラントはスプレー後のバッチのボトルネックを解消し、部品の不良率を低下させ、国際的なクリーンルーム汚染基準に準拠します。

半導体施設の主なパフォーマンス上の利点

微粒子発塵ゼロ: 高架橋フッ素ポリマー構造によりバインダーの分解が防止され、連続的な層流気流下でも微粒子の脱落がゼロになります。

超低 AMC アウトガス: ASTM E595 規格への準拠が認定されており、凝縮性有機揮発性物質が高精度フォトリソグラフィー レンズに堆積するのを防ぎます。

化学的消毒剤耐性: 70% IPA、過酸化水素、水酸化アンモニウムによる機械的洗浄を 2,000 サイクル以上行っても、ペイントの軟化や曇りに耐えます。

サンドイッチラミネート用のデッドフラットレイ: マルチロールテンションレベリングにより内部残留応力が除去され、アルミニウムハニカムおよびミネラルウールコアへのフラットシートの接着が保証されます。

剥離のないエッジ曲げ: 優れたコーティングの弾性により 1.0T ～ 1.5T の曲げ性能が実現し、パネルの接合部に沿って塗装が剥離することなく、カセットを鮮明に 90° 折り畳むことができます。

完全な製品仕様  

品質管理と生産の信頼性

すべての生産工程は ISO 9001 品質プロトコルに基づいて製造され、閉ループの化学前処理と自動化されたクリーンルーム ローラー コーティングを使用して厳密な光学的、機械的、および清浄度の性能を維持します。

カスタマイズされた B2B OEM および加工サービス

クリーンルームの壁パネル メーカー、HVAC 製造業者、板金プレス工場をサポートするために、当社はクリーンな製造ライン向けに構築されたターンキー処理およびサプライ チェーン サービスを提供しています。

精密スリット&カスタムブランキング

高精度ロータリースリッターと長さに合わせてカットできるシャーリングラインを備え、当社は最小50mmまでのカスタムスリットコイル幅と、0.015mm未満に抑えられたエッジのバリを抑えたプレカット長方形ブランクを供給し、自動パネル曲げラインへの直接供給を可能にします。

クリーンルームグレードの低粘着保護フィルムのラミネート加工

コイルは、特殊な共押出されたハロゲンフリーのPE保護フィルム (50 ～ 80 ミクロン) でラミネートされています。超低粘着アクリル接着剤を配合したこれらのフィルムは、CNC パンチングやプレス ブレーキング中に表面を保護し、パネルにゴム状の化学残留物を残さずにきれいに剥がすことができます。

構造結合のための裏面ウォッシュコート

アルミニウム ストリップの裏側には、ポリウレタン接着剤、エポキシ樹脂、アルミニウム ハニカム コアとの接着強度を最大化するために特別に配合された高接着性エポキシ ウォッシュ プライマー (3 ～ 5 ミクロン) がローラー コーティングされています。

密封防湿輸出包装

コイル リールとフラット シート パックは、蒸気腐食防止剤 (VCI) 防錆バリアで保護され、厚手の防水ポリエチレン ラッピングの内側に真空シールされ、硬質スチール製ラジアル エッジ ガードが取り付けられ、国際海上輸送用に強化燻蒸処理された木製スキッドに固定されています。

産業用用途

よくある質問

Q1:半導体製造工場において、 PVDFコーティングが標準のポリエステルまたは粉体コーティングよりも優れているのはなぜですか?

標準的なポリエステルおよびエポキシ粉体塗装には、芳香族化合物、可塑剤、軟質樹脂バインダーが含まれており、これらは連続的な空気流の下で分解し、塗料粉塵を発生させ、揮発性有機化合物 (VOC) を放出します。 70% Kynar 500® PVDFコーティングは、化学的分解に耐え、ガス放出蒸気をほとんど放出せず、クリーンルーム環境にチョーク化したり粒子が飛散したりしない、強固に架橋されたフッ素ポリマー格子を提供します。

Q2:この材料はどのようにしてクリーンルーム向けの「非発塵」評価を達成するのですか?

このコーティングは、陽圧クリーンルーム内で連続液体ローラーコーティングによって塗布され、高い金属のピーク温度で硬化されます。このプロセスによりASTM D4214 の評価 10 (チョーキングゼロ) を達成する高密度の非多孔質フィルムが作成されます。滑らかな表面は高速気流による機械的侵食に耐え、ISO クラス 3 ～ クラス 5 のクリーンルームへの微粒子の放出を防ぎます。

Q3:この塗装済みコイルはどのようなガス放出仕様を満たしていますか?

ASTM E595 に従ってテストされた当社のクリーンルームグレードPVDFコーティングコイルは、総質量損失 (TML) ≤ 0.28% および収集された揮発性凝縮性物質 (CVCM) ≤ 0.02% を達成しています。これらの低い値により、空気中の分子汚染 (AMC) が高精度の光学レンズやシリコン ウェーハに凝縮するのを防ぎます。

Q4: このコイルをアルミニウムハニカムまたはミネラルウールサンドイッチパネルに積層できますか?

はい。コイルの裏側は、ポリウレタン、エポキシ、構造用アクリル接着剤との接着を促進するように設計された特殊なエポキシウォッシュプライマーでコーティングされています。ストリップは張力レベルで平坦であるため、パネル面全体に滑らかな接触が保証され、接着剤のボイド、膨れ、層間剥離が防止されます。

Q5: コーティングは、IPA や消毒剤による毎日の洗浄にどのように対応しますか?

フルオロカーボンの化学構造は化学的に不活性で、非多孔質です。 70% イソプロピル アルコール (IPA)、10% 過酸化水素、過酢酸、および標準的なクリーンルーム用洗剤による 2,000 回以上の 2 回の摩擦に、軟化、曇り、または表面の光沢を失うことなく耐えます。

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