რატომ არის 1060 ანოდირებული სარკე ალუმინის ფურცელი სასურველი ნახევარგამტარული ინსპექტირების ინსტრუმენტებში?

ნახევარგამტარული ინსპექტირების ხელსაწყოები - როგორიცაა ავტომატური ოპტიკური ინსპექტირების სისტემები (AOI), ვაფლის დეფექტის სკანერები და ფოტოლითოგრაფიის გასწორების მოდულები - მუშაობს უკიდურესი სუფთა ოთახის სტანდარტების მიხედვით (ISO კლასი 1-დან 5 კლასამდე). სილიკონის ვაფლებზე ქვემიკრონული დეფექტების გამოვლენა მოითხოვს სინათლის ხელუხლებელ არეკვლას, მაღალ თერმულ სტაბილურობას, ნულოვანი ნაწილაკების დაბინძურებას და სტატიკური მუხტის დაგროვებისადმი იმუნიტეტს.

სტანდარტული ამრეკლავი პოლიმერები ან მეორადი დაფარული მინის სარკეები წარმოადგენენ დაბინძურების მნიშვნელოვან რისკებს ულტრამაღალი ვაკუუმი (UHV) და მაღალი სისუფთავის ოთახებში გაზების გაჟონვისა და მყიფე მსხვრევის რისკების გამო. 1060 ანოდირებული სარკის ალუმინის ფურცელი (≥  99,60%  სუფთა Al ქიმიური გასაპრიალებელი და ანოდიური ლუქით) გთავაზობთ გამძლე მეტალის ხსნარს. ის უზრუნველყოფს სინათლის მთლიან მიმართულ არეკვლას ( ≥ 86%-95% ), ულტრა დაბალ ვაკუუმურ გაჟონვას, სტატიკურ გაფრქვევას და ზუსტ თბოგამტარობას ვაფლის შემოწმების მგრძნობიარე ოპტიკისთვის.

მაღალი ინტენსივობის სინათლის მიმართულება და ასახვა

ქვემიკრონის დეფექტის შემოწმება ეყრდნობა ზუსტ ლაზერულ სკანირებას ან მაღალი ინტენსივობის LED სინათლის ბილიკებს:

სინათლის გაფანტვის აღმოფხვრა: ნაკლოვანებები ან ფორთოხლის კანი რეფლექტორის ფირფიტებზე ავრცელებს სინათლეს, ამცირებს სიგნალის და ხმაურის თანაფარდობას (SNR) მაღალსიჩქარიან CCD/CMOS სენსორებზე.

სპექტრული ერთგვაროვნება: ინსპექტირების ოპტიკა მოითხოვს სტაბილურ არეკვლას UV, ხილული და ახლო ინფრაწითელი (NIR) ტალღების სიგრძეზე ოპტიკური დამახინჯების გარეშე.

დასუფთავების ოთახის დაბინძურება და გაჟონვის საფრთხე

ნახევარგამტარული აღჭურვილობის კომპონენტები ექვემდებარება მატერიალური გაზების მკაცრ შეზღუდვებს:

ორგანული მინა/პოლიმერული სარკე 1060 ანოდირებული სარკის ალუმინის წინააღმდეგ

აქროლადი ორგანული დაბინძურება: პოლიმერული საყრდენი ან წებოვანი ფენები ასხივებს აქროლად ორგანულ ნაერთებს (VOCs) ულტრაიისფერი განათების ან ვაკუუმის ქვეშ და ათავსებს თხელ ფენებს დელიკატურ პროექციის ლინზებზე.

ნაწილაკების წარმოქმნა: მტვრევადი მასალები ან აქერცლილი საფარი წარმოქმნის მიკროსკოპული მტვრის ნაწილაკებს, რაც იწვევს ვაფლის სასიკვდილო დეფექტებს.

 ოპტიკური რეფლექტორის მასალები

ქვემოთ მოყვანილი ცხრილი ადარებს ოპტიკური ასახვის მასალების ტექნიკურ პარამეტრებს, რომლებიც გამოიყენება ნახევარგამტარული ინსპექტირების მოწყობილობებში:

ძირითადი უპირატესობები ნახევარგამტარული ინსპექტირების აღჭურვილობაში

FAQ

Q1: რატომ გამოვიყენოთ 1060 ალუმინი უფრო მაღალი სიმტკიცის შენადნობების ნაცვლად, როგორიცაა 6061 სარკისებური გამოყენებისთვის?

პასუხი: მაღალი სიმტკიცის შენადნობები, როგორიცაა 6061, შეიცავს მაგნიუმის და სილიციუმის ინტერმეტალთა ფაზებს, რომლებიც ქმნიან მიკროსკოპულ ორმოებს ქიმიური გაპრიალების დროს, რაც იწვევს სინათლის დიფუზიას. 1060 სუფთა ალუმინი ( ≥ 99,60% ) პრიალდება შეუფერხებლად, მიიღწევა უმაღლესი სპეკულარული არეკვლა.

Q2: ამცირებს თუ არა ანოდური ოქსიდის ფენა სარკის ალუმინის ფურცლის არეკვლას?

A: კონტროლირებადი ანოდიზაცია ( 3μm-8μm ) მაღალი სისუფთავის გამჭვირვალე დალუქვის გამოყენებით, ინარჩუნებს ≥ 86%-95%  არეკვლას, ამასთან უზრუნველყოფს სასიცოცხლო ნაკაწრის წინააღმდეგობას, ქიმიურ პასივაციას და არაგაჟონვის თვისებებს.

Q3: არის თუ არა 1060 ანოდირებული სარკის ალუმინი უსაფრთხო ულტრა მაღალი ვაკუუმის (UHV) კამერებისთვის?

_ დიახ. სრულად დალუქული ანოდური ფენა ( Al 2 O 3) არ შეიცავს ორგანულ გამხსნელებს, საღებავებს ან აქროლად შემკვრელებს. ის აკმაყოფილებს ASTM E595 გაზების გაჟონვის სტანდარტებს ( TML < 0.10% , CVCM <0.01% ), რაც მას უსაფრთხოს ხდის სუფთა ოთახისა და ვაკუუმის ხელსაწყოს ინტეგრირებისთვის.

Q4: როგორ უმკლავდება 1060 სარკის ალუმინის ელექტროსტატიკური გამონადენი (ESD) სუფთა ოთახებში?

A: როგორც ლითონის გამტარი სუბსტრატი თხელი ანოდური ფენის ქვეშ, 1060 ალუმინი საშუალებას აძლევს სტატიკური მუხტების უსაფრთხოდ გაფანტვას მიწაზე, რაც ხელს უშლის ჰაერის მტვრის ნაწილაკების სტატიკური მიზიდვას ვაფლის ზედაპირებზე.

Q5: რა დამცავი შეფუთვა გამოიყენება სარკის ალუმინის ფურცლების გასაგზავნად ოპტიკური შეკრებისთვის?

A: ფურცლები ლამინირებულია მაღალი გამჭვირვალობის, დაბალი წებოვნების დამცავი PE ფირით, მტვერსასრუტით შეფუთული გამშრალებით სუფთა ოთახის ჩანთებში, გადახლართული ნეიტრალური ქაღალდით და იგზავნება მძიმე ხის კოლოფებში, ნაკაწრების ან დაჟანგვის თავიდან ასაცილებლად.

დასკვნა

დაკონკრეტება 1060 ანოდირებული სარკის ალუმინის ფურცლები ნახევარგამტარული ინსპექტირების ხელსაწყოებისთვის უზრუნველყოფს მაღალ ოპტიკურ არეკვლას, ულტრა დაბალ ვაკუუმურ გაჟონვას და გამძლე სუფთა ოთახის საიმედოობას.

თქვენი ნახევარგამტარული ოპტიკის ან გარსის პროექტისთვის მასალის შერჩევის ოპტიმიზაციისთვის:

შენადნობის მაღალი სისუფთავის მანდატი (≥ 99.60% Al): მიუთითეთ 1060 ან 1070 შენადნობი კონტროლირებადი დაბალი რკინის/სილიციუმის დონეებით, რათა თავიდან აიცილოთ ზედაპირის გაჩენა ნათელი ქიმიური გაპრიალების დროს.

გადაამოწმეთ სპეკულარული არეკვლა და ანოდური ფირის სისქე: მოითხოვეთ მთლიანი არეკვლის მაჩვენებლები≥ 86%-90% (DIN 5036) და დალუქული ანოდური ფენა (3μm-8μm), რათა დააბალანსოთ არეკვლა ნაკაწრისგან დაცვასთან.

დარწმუნდით, რომ ASTM E595 გაჟონვის შესაბამისობა: მოითხოვეთ ტესტის სერთიფიკატი, რომელიც ადასტურებს მთლიანი მასის დანაკარგს (TML <0,10%) და შეგროვებული აქროლადი კონდენსირებადი მასალის (CVCM < 0,01%) ვაკუუმური კამერის ინსტალაციისთვის.