ហេតុអ្វីបានជា 1060 Anodized Mirror សន្លឹកអាលុយមីញ៉ូម ចូលចិត្តនៅក្នុងឧបករណ៍ត្រួតពិនិត្យ Semiconductor?

ឧបករណ៍ត្រួតពិនិត្យ semiconductor - ដូចជាប្រព័ន្ធត្រួតពិនិត្យអុបទិកស្វ័យប្រវត្តិ (AOI) ម៉ាស៊ីនស្កេនពិការភាព wafer និងម៉ូឌុលតម្រឹម photolithography - ដំណើរការក្រោមស្តង់ដារបន្ទប់ស្អាតខ្លាំង (ISO ថ្នាក់ទី 1 ដល់ថ្នាក់ទី 5) ។ ការរកឃើញពិការភាពនៃអនុមីក្រូននៅលើ wafers ស៊ីលីកុន តម្រូវឱ្យមានការឆ្លុះបញ្ចាំងពីពន្លឺដ៏បរិសុទ្ធ ស្ថេរភាពកម្ដៅខ្ពស់ ការបំពុលដោយភាគល្អិតសូន្យ និងភាពស៊ាំទៅនឹងការបង្កើតបន្ទុកឋិតិវន្ត។

ប៉ូលីម័រឆ្លុះបញ្ចាំងស្តង់ដារ ឬកញ្ចក់កញ្ចក់ដែលស្រោបដោយស្រទាប់បន្ទាប់បន្សំ បង្កហានិភ័យនៃការចម្លងរោគយ៉ាងសំខាន់នៅក្នុងម៉ាស៊ីនបូមធូលីខ្ពស់ (UHV) និងបរិស្ថានបន្ទប់សម្អាតខ្ពស់ ដោយសារតែហានិភ័យនៃការបែកខ្ញែក និងផុយស្រួយ។ សន្លឹកអាលុយមីញ៉ូម 1060 anodized (≥  99.60%  Al សុទ្ធជាមួយនឹងការប៉ូលាគីមី និងត្រា anodic) ផ្តល់នូវដំណោះស្រាយលោហធាតុដ៏រឹងមាំ។ វាផ្តល់នូវការឆ្លុះបញ្ចាំងពីពន្លឺទិសដៅសរុប ( ≥ 86%-95% ) ការបញ្ចេញខ្យល់តិចបំផុត ការសាយភាយឋិតិវន្ត និងចរន្តកំដៅច្បាស់លាស់សម្រាប់អុបទិកត្រួតពិនិត្យ wafer ដែលងាយរងគ្រោះ។

ពន្លឺអាំងតង់ស៊ីតេខ្ពស់ ការណែនាំ និងការឆ្លុះបញ្ចាំង

ការត្រួតពិនិត្យពិការភាពអនុមីក្រូ ពឹងផ្អែកលើការស្កេនឡាស៊ែរច្បាស់លាស់ ឬផ្លូវពន្លឺ LED ដែលមានអាំងតង់ស៊ីតេខ្ពស់៖

ការលុបបំបាត់ការខ្ចាត់ខ្ចាយពន្លឺ៖ ភាពមិនល្អឥតខ្ចោះ ឬវាយនភាពសំបកពណ៌ទឹកក្រូចនៅលើបន្ទះកញ្ចក់ឆ្លុះបញ្ចេញពន្លឺ កាត់បន្ថយសមាមាត្រសញ្ញាទៅសំឡេងរំខាន (SNR) នៅលើឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា CCD/CMOS ដែលមានល្បឿនលឿន។

ភាពស្មើគ្នានៃវិសាលគម៖ អុបទិកអធិការកិច្ចតម្រូវឱ្យមានការឆ្លុះបញ្ចាំងស្ថិរភាពនៅទូទាំងកាំរស្មីយូវី ដែលអាចមើលឃើញ និងរលកចម្ងាយជិតអ៊ីនហ្វ្រារ៉េដ (NIR) ដោយគ្មានការបង្ខូចទ្រង់ទ្រាយអុបទិក។

ការបំពុលបន្ទប់ស្អាត និងគ្រោះថ្នាក់ពីការបញ្ចេញឧស្ម័ន

សមាសធាតុឧបករណ៍ Semiconductor ប្រឈមមុខនឹងដែនកំណត់នៃការបញ្ចេញឧស្ម័នដ៏តឹងរ៉ឹង៖

កញ្ចក់សរីរាង្គ/កញ្ចក់ប៉ូលីម័រ ទល់នឹងអាលុយមីញ៉ូម 1060 Anodized Mirror

ការបំពុលសរីរាង្គងាយនឹងបង្កជាហេតុ៖ ស្រទាប់ប៉ូលីមែរ ឬស្រទាប់ស្អិតបញ្ចេញឧស្ម័នសរីរាង្គដែលងាយនឹងបង្កជាហេតុ (VOCs) ក្រោមការបំភ្លឺពីកាំរស្មីយូវី ឬកន្លែងទំនេរ ដោយដាក់ខ្សែភាពយន្តស្តើងទៅលើកញ្ចក់បញ្ចាំងពន្លឺ។

ការបង្កើតភាគល្អិត៖ វត្ថុធាតុផុយ ឬថ្នាំកូតដែលឆេះ បង្កើតជាភាគល្អិតធូលីមីក្រូទស្សន៍ ដែលបណ្តាលឱ្យខូចទ្រង់ទ្រាយ wafer ស្លាប់។

 សម្ភារៈឆ្លុះបញ្ចាំងអុបទិក

តារាងខាងក្រោមប្រៀបធៀបប៉ារ៉ាម៉ែត្របច្ចេកទេសនៃសម្ភារៈឆ្លុះបញ្ចាំងអុបទិកដែលប្រើក្នុងឧបករណ៍ត្រួតពិនិត្យ semiconductor៖

គុណសម្បត្តិសំខាន់ៗនៅក្នុងឧបករណ៍ត្រួតពិនិត្យ Semiconductor

សំណួរគេសួរញឹកញាប់

សំណួរទី 1: ហេតុអ្វីបានជាប្រើអាលុយមីញ៉ូម 1060 ជំនួសឱ្យយ៉ាន់ស្ព័រដែលមានកម្លាំងខ្ពស់ដូចជា 6061 សម្រាប់កម្មវិធីកញ្ចក់?

ចម្លើ យៈ យ៉ាន់ស្ព័រដែលមានកម្លាំងខ្លាំងដូចជា 6061 មានម៉ាញ៉េស្យូម និងស៊ីលីកុនដំណាក់កាលអន្តរមេតាលីក ដែលបង្កើតមីក្រូទស្សន៍ក្នុងកំឡុងពេលប៉ូលាគីមី ដែលបណ្តាលឱ្យមានការសាយភាយពន្លឺ។ 1060 អាលុយមីញ៉ូសុទ្ធ ( ≥ 99.60% ) ប៉ូឡូញយ៉ាងរលូន សម្រេចបាននូវការឆ្លុះបញ្ចាំងដ៏អស្ចារ្យ។

សំណួរទី 2: តើស្រទាប់អុកស៊ីដ anodic កាត់បន្ថយការឆ្លុះបញ្ចាំងនៃសន្លឹកអាលុយមីញ៉ូមកញ្ចក់ទេ?

A: ការត្រួតពិនិត្យ anodization ( 3μm-8μm ) ដោយប្រើ sealants ច្បាស់លាស់ខ្ពស់រក្សា ការឆ្លុះបញ្ចាំង ≥ 86%-95%  ខណៈពេលដែលផ្តល់នូវភាពធន់នឹងការកោសយ៉ាងសំខាន់, passivation គីមីនិងលក្ខណៈសម្បត្តិមិន outgassing ។

សំណួរទី 3: តើកញ្ចក់អាលុយមីញ៉ូម 1060 មានសុវត្ថិភាពសម្រាប់បន្ទប់បូមធូលីខ្ពស់ (UHV) ដែរឬទេ?

ចម្លើយ៖ បាទ។ ស្រទាប់ anodic បិទជិតយ៉ាងពេញលេញ ( Al ₂ O ₃) មិនមានសារធាតុរំលាយសរីរាង្គ ថ្នាំជ្រលក់ ឬសារធាតុចងងាយនឹងបង្កជាហេតុទេ។ វាបំពេញតាមស្តង់ដារ ASTM E595 outgassing standard ( TML < 0.10% , CVCM < 0.01% ) ដែលធ្វើឱ្យវាមានសុវត្ថិភាពសម្រាប់ការរួមបញ្ចូលឧបករណ៍សម្អាត និងម៉ាស៊ីនបូមធូលី។

សំណួរទី 4: តើកញ្ចក់អាលុយមីញ៉ូម 1060 ដោះស្រាយការឆក់អគ្គិសនី (ESD) នៅក្នុងបន្ទប់សម្អាតយ៉ាងដូចម្តេច?

A: ក្នុងនាមជាស្រទាប់ខាងក្រោមលោហៈធាតុដែលស្ថិតនៅក្រោមស្រទាប់ anodic ស្តើង អាលុយមីញ៉ូម 1060 អនុញ្ញាតឱ្យបន្ទុកឋិតិវន្តរលាយទៅដីដោយសុវត្ថិភាព ការពារការទាក់ទាញឋិតិវន្តនៃភាគល្អិតធូលីនៅលើអាកាសទៅលើផ្ទៃ wafer ។

សំណួរទី 5: តើការវេចខ្ចប់ការពារអ្វីខ្លះដែលត្រូវបានប្រើដើម្បីដឹកជញ្ជូនសន្លឹកអាលុយមីញ៉ូមសម្រាប់ដំឡើងអុបទិក?

ចម្លើយ៖ សន្លឹកត្រូវបានស្រោបដោយខ្សែភាពយន្ត PE ដែលមានភាពច្បាស់លាស់ខ្ពស់ ស្រទាប់ការពារទាប បូមធូលីដែលខ្ចប់ដោយសារធាតុ desiccants នៅក្នុងថង់សម្អាត រុំព័ទ្ធដោយក្រដាសអព្យាក្រឹត ហើយត្រូវបានដឹកជញ្ជូនដោយសំប៉ែតក្នុងប្រអប់ឈើដែលមិនមានជាតិគីមីច្រើន ដើម្បីការពារការកោស ឬអុកស៊ីតកម្ម។

សេចក្តីសន្និដ្ឋាន

ការបញ្ជាក់ សន្លឹកអាលុយមីញ៉ូម 1060 anodized សម្រាប់ឧបករណ៍ត្រួតពិនិត្យ semiconductor ធានានូវការឆ្លុះបញ្ចាំងអុបទិកខ្ពស់ ការបូមធូលីទាបបំផុត និងភាពជឿជាក់នៃបន្ទប់សម្អាតដ៏រឹងមាំ។

ដើម្បីបង្កើនប្រសិទ្ធភាពការជ្រើសរើសសម្ភារៈសម្រាប់អុបទិក semiconductor ឬគម្រោងឯករភជប់របស់អ្នក៖

Mandate High Alloy Purity (≥ 99.60% Al)៖ បញ្ជាក់យ៉ាន់ស្ព័រ 1060 ឬ 1070 ជាមួយនឹងកម្រិតជាតិដែក/ស៊ីលីកុនទាបដែលបានគ្រប់គ្រង ដើម្បីការពារការជ្រាបទឹកលើផ្ទៃកំឡុងពេលប៉ូលាគីមីភ្លឺ។

ផ្ទៀងផ្ទាត់ភាពឆ្លុះបញ្ចាំងជាក់លាក់ & កម្រាស់នៃខ្សែភាពយន្ត Anodic៖ តម្រូវឱ្យមានការវាយតម្លៃសរុបនៃការឆ្លុះបញ្ចាំង≥ 86%-90% (DIN 5036) និងស្រទាប់ anodic បិទជិត (3μm-8μm) ដើម្បីធ្វើឱ្យមានតុល្យភាពនៃការឆ្លុះបញ្ចាំងជាមួយនឹងការការពារកោស។

ធានាថា ASTM E595 Outgassing Compliance: ស្នើសុំវិញ្ញាបនបត្រសាកល្បងដែលបញ្ជាក់ពីការបាត់បង់ម៉ាសសរុប (TML < 0.10%) និងប្រមូលបាន Volatile Condensable Material (CVCM < 0.01%) សម្រាប់ការដំឡើងបន្ទប់បូមធូលី។