Af hverju er 1060 anodized Mirror Álplata ákjósanlegur í hálfleiðara skoðunarverkfærum?

Skoðunartæki fyrir hálfleiðara—eins og sjálfvirk sjónskoðunarkerfi (AOI) kerfi, skanna fyrir obláta galla og ljóslithgrafíujafnaðareiningar—starfa undir öfgakenndum hreinherbergisstöðlum (ISO Class 1 til Class 5). Til að greina undir-míkron galla á kísilskífum þarf óspillta ljósendurkast, mikinn hitastöðugleika, engin agnamengun og ónæmi fyrir uppbyggingu kyrrstöðuhleðslu.

Staðlaðar endurskinsfjölliður eða aukahúðaðir glerspeglar skapa verulega mengunarhættu í ofurháu lofttæmi (UHV) og umhverfi með miklu hreinu herbergi vegna útgass og brothættu brota. 1060 anodized spegla álplata (≥  99,60%  hreint Al með efnafægingu og rafskautsþéttingu) býður upp á öfluga málmlausn. Það veitir heildar stefnuljós endurkast ( ≥ 86%-95% ), ofurlítið lofttæmi úr gasi, truflanir dreifingu og nákvæma hitaleiðni fyrir viðkvæma skífuskoðunarljósfræði.

Hástyrks ljósleiðsögn og endurspeglun

Skoðun undir míkróna galla byggir á nákvæmri leysiskönnun eða hástyrkum LED ljósleiðum:

Útrýming ljósdreifingar: Ófullkomleika eða appelsínuhúð áferð á endurskinsplötum dreifir ljósi og lækkar merki-til-suðhlutföll (SNR) á háhraða CCD/CMOS skynjurum.

Litrófsjafnvægi: Skoðunarljósfræði krefst stöðugrar endurspeglunar yfir UV, sýnilegar og nær-innrauðar (NIR) bylgjulengdir án sjónræns röskunar.

Hreinsunarmengun og hætta á útgasi

Íhlutir hálfleiðarabúnaðar standa frammi fyrir ströngum takmörkunum fyrir losun efnis:

Lífrænn gler/fjölliðaspegill á móti 1060 anodized spegill áli

Rokgjörn lífræn mengun: Fjölliðar bakhliðar eða límlög losa út rokgjörn lífræn efnasambönd (VOC) undir UV-lýsingu eða lofttæmi og setja þunnar filmur á viðkvæmar vörpulinsur.

Agnamyndun: Brothætt efni eða flagnandi húðun mynda smásæjar rykagnir sem valda banvænum galla á oblátum.

 Efni fyrir optískt endurskinsmerki

Taflan hér að neðan ber saman tæknilegar breytur ljósspeglunarefna sem notuð eru í hálfleiðara skoðunarbúnaði:

Helstu kostir í hálfleiðara skoðunarbúnaði

Algengar spurningar

Q1: Af hverju að nota 1060 ál í stað sterkari málmblöndur eins og 6061 fyrir speglanotkun?

A: Hástyrktar málmblöndur eins og 6061 innihalda magnesíum og sílikon millimálmfasa sem mynda smásæja gryfju við efnafægingu, sem veldur ljósdreifingu. 1060 hreint ál ( ≥ 99,60% ) pússar mjúklega og nær yfirburða spegilmynd.

Spurning 2: Dregur anodic oxíðlagið úr endurkastsgetu spegilálplötunnar?

A: Stýrð anodization ( 3μm-8μm ) með því að nota glær þéttiefni með mikilli hreinleika viðheldur ≥ 86% -95%  endurspeglun á sama tíma og hún veitir mikilvæga rispuþol, efnafræðilega passivering og eiginleika sem ekki losna úr gasi.

Spurning 3: Er 1060 anodized speglaál öruggt fyrir ofurhát lofttæmi (UHV) hólf?

A: Já. Fulllokað anodískt lagið ( Al ₂ O ₃) inniheldur engin lífræn leysiefni, litarefni eða rokgjörn bindiefni. Það uppfyllir ASTM E595 útgasstaðla ( TML < 0,10% , CVCM < 0,01% ), sem gerir það öruggt fyrir samþættingu hreinherbergis og tómarúmstækja.

Spurning 4: Hvernig höndlar 1060 spegill ál rafstöðueiginleikar (ESD) í hreinum herbergjum?

A: Sem leiðandi málmhvarfefni undir þunnu rafskautslagi, gerir 1060 ál kleift að dreifa kyrrstöðuhleðslum á öruggan hátt til jarðar, sem kemur í veg fyrir að loftbornar rykagnir dragast að á flötum.

Q5: Hvaða hlífðarumbúðir eru notaðar til að senda speglaálplötur fyrir sjónsamsetningu?

A: Blöðin eru lagskipt með hátærri, lágklípandi verndandi PE filmu, lofttæmd með þurrkefnum í hreinherbergispokum, fléttuð með hlutlausum pappír og send flatt í þungum viðarhylkjum sem ekki eru reyklaus til að koma í veg fyrir rispur eða oxun.

Niðurstaða

Að tilgreina 1060 anodized spegla álplötur fyrir hálfleiðara skoðunarverkfæri tryggja mikla sjónræna endurspeglun, ofurlítið lofttæmi og sterkan áreiðanleika hreinsherbergja.

Til að hámarka efnisval fyrir hálfleiðara ljósfræði eða girðingarverkefni:

Umboð Hár málmblöndur hreinleiki (≥ 99,60% Al): Tilgreindu 1060 eða 1070 álfelgur með stýrðu lágu járn/kísilmagni til að koma í veg fyrir gryfjun yfirborðs við bjarta efnafægingu.

Staðfestu spegilspeglun og rafskautsfilmuþykkt: Krefjast heildarendurspeglunareinkunna ≥ 86%-90% (DIN 5036) og innsiglað rafskautslag (3μm-8μm) til að koma jafnvægi á endurspeglun með rispuvörn.

Gakktu úr skugga um að ASTM samræmist E595 losunargasi: Biddu um prófunarvottorð sem staðfestir heildarmassatap (TML < 0,10%) og safnað rokgjarnt þéttanlegt efni (CVCM < 0,01%) fyrir uppsetningu lofttæmishólfs.