Хагас дамжуулагчийн хяналтын хэрэгсэлд яагаад 1060 аноджуулсан толь Хөнгөн цагаан хуудас илүүд үздэг вэ?

Хагас дамжуулагчийн хяналтын хэрэгсэл, тухайлбал автомат оптик хяналтын (AOI) систем, вафель согогийн сканнер, фотолитографийн тохируулгын модулиуд нь маш цэвэрхэн өрөөний стандартын дагуу ажилладаг (ISO 1-ээс 5-р анги). Цахиур хавтан дээрх микрон бага зэргийн согогийг илрүүлэхийн тулд цэвэр гэрлийн тусгал, дулааны өндөр тогтвортой байдал, тоосонцор бохирдолгүй, статик цэнэг үүсэхээс хамгаалсан байх шаардлагатай.

Стандарт цацруулагч полимер эсвэл хоёрдогч бүрээстэй шилэн толь нь хэт өндөр вакуум (UHV) болон өндөр цэвэрхэн орчинд хий ялгаруулах, эвдрэх зэрэг эрсдэлээс шалтгаалан ихээхэн бохирдох эрсдэлтэй. 1060 аноджуулсан толин тусгал хөнгөн цагаан хуудас (≥  99.60%  цэвэр Al, химийн өнгөлгөө, анод битүүмжлэл) нь бат бөх металл шийдлийг санал болгодог. Энэ нь нийт чиглэлийн гэрлийн тусгал ( ≥ 86% -95% ), хэт бага вакуум гадагшлуулах, статик ялгаруулалт, нарийн ширхэгтэй хавтанцар шалгах оптикийн дулаан дамжуулалтыг нарийн хангадаг.

Өндөр эрчимтэй гэрлийн удирдамж ба тусгал

Дэд микрон согогийн үзлэг нь нарийн лазер сканнер эсвэл өндөр эрчимтэй LED гэрлийн замд тулгуурладаг.

Гэрлийн тархалтыг арилгах: Гэрэл ойлгогч хавтан дээрх согог эсвэл улбар шар өнгийн хальс нь гэрлийг сарниулж, өндөр хурдны CCD/CMOS мэдрэгч дээрх дохио-дуу чимээний харьцааг (SNR) бууруулдаг.

Спектрийн жигд байдал: Хяналтын оптик нь хэт ягаан туяа, үзэгдэх болон ойрын хэт улаан туяаны (NIR) долгионы уртад оптик гажуудалгүйгээр тогтвортой тусгал шаарддаг.

Цэвэр өрөөний бохирдол ба хий ялгаруулах аюул

Хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь материалын хий ялгаруулах хатуу хязгаарлалттай тулгардаг:

Органик шил/полимер толин тусгал 1060 аноджуулсан толь хөнгөн цагаан

Дэгдэмхий органик бохирдол: Полимер дэвсгэр буюу наалдамхай давхарга нь хэт ягаан туяаны гэрэлтүүлэг эсвэл вакуум дор дэгдэмхий органик нэгдлүүдийг (VOC) гаргаж, нарийхан проекцын линз дээр нимгэн хальс үүсгэдэг.

Тоосонцор үүсэх: Хэврэг материал эсвэл хальсан бүрхүүл нь тоосны бичил хэсгүүдийг үүсгэдэг бөгөөд энэ нь ялтсанд үхлийн аюултай согогийг үүсгэдэг.

 Оптик цацруулагч материал

Доорх хүснэгтэд хагас дамжуулагчийг шалгах төхөөрөмжид ашигладаг оптик тусгалын материалын техникийн үзүүлэлтүүдийг харьцуулсан болно.

Хагас дамжуулагчийг шалгах төхөөрөмжийн гол давуу талууд

Түгээмэл асуултууд

Асуулт 1: Яагаад толин тусгалын хэрэглээнд зориулж 6061 гэх мэт өндөр бат бэх хайлшийн оронд 1060 хөнгөн цагааныг ашиглах хэрэгтэй вэ?

Хариулт: 6061 гэх мэт өндөр бат бэх хайлш нь магни, цахиур хоорондын металлын фазуудыг агуулдаг бөгөөд энэ нь химийн өнгөлгөөний явцад микроскопийн нүхжилт үүсгэж, гэрлийн тархалтыг үүсгэдэг. 1060 төрлийн цэвэр хөнгөн цагаан ( ≥ 99.60% ) нь жигд өнгөлж, гялалзсан тусгалыг дээд зэргээр хангана.

Q2: Анод ислийн давхарга нь толин тусгал хөнгөн цагаан хуудасны тусгалыг бууруулдаг уу?

Х: хяналттай аноджуулалт ( 3μm-8μm ) нь Өндөр цэвэршилттэй тунгалаг чигжээсийг ашиглан ≥ 86%-95%  тусгалыг хадгалахын зэрэгцээ зурааснаас хамгаалах, химийн идэвхгүйжүүлэх, хий ялгаруулахгүй байх шинж чанартай байдаг.

Q3: 1060 аноджуулсан толин тусгал хөнгөн цагаан нь хэт өндөр вакуум (UHV) камеруудад аюулгүй юу?

Х: Тийм ээ. Бүрэн битүүмжилсэн анод давхарга ( Al ₂ O ₃) нь органик уусгагч, будагч бодис, дэгдэмхий холбогч агуулаагүй. Энэ нь ASTM E595 хий ялгаруулах стандартыг ( TML < 0.10% , CVCM < 0.01% ) хангаж, цэвэр өрөө болон вакуум багажийг нэгтгэхэд аюулгүй болгодог.

Асуулт 4: 1060 толь хөнгөн цагаан нь цэвэр өрөөнд цахилгаан статик ялгадасыг (ESD) хэрхэн зохицуулдаг вэ?

Х: Нимгэн анод давхаргын дор дамжуулагч металл субстрат болохын хувьд 1060 хөнгөн цагаан нь статик цэнэгийг газарт аюулгүй тарааж, агаарт байгаа тоосны тоосонцорыг вафель гадаргуу дээр статик татахаас сэргийлдэг.

Асуулт 5: Оптик угсралтад зориулж толин тусгал хөнгөн цагаан хуудсыг тээвэрлэхэд ямар хамгаалалтын савлагаа ашигладаг вэ?

Х: Хуудаснууд нь өндөр тунгалаг, наалдамхай хамгаалалттай PE хальсаар хучигдсан, чийгшүүлэгч бодисоор цэвэр өрөөний уутанд вакуумаар савлаж, саармаг цаасаар нааж, зураас, исэлдэлтээс урьдчилан сэргийлэхийн тулд хүнд даацын утаагүй модон хайрцагт байрлуулна.

Дүгнэлт

Тодорхойлж байна Хагас дамжуулагчийн хяналтын багаж хэрэгсэлд зориулсан 1060 аноджуулсан толин тусгал хөнгөн цагаан хуудас нь өндөр оптик тусгал, хэт бага вакуум гадагшлуулах, цэвэр өрөөний найдвартай байдлыг хангадаг.

Хагас дамжуулагч оптик эсвэл хашааны төслийн материалын сонголтыг оновчтой болгохын тулд:

Өндөр хайлшны цэвэршилт (≥ 99.60% Al): Төмөр/цахиурын түвшин багатай хяналттай 1060 эсвэл 1070 хайлшийг тод химийн өнгөлгөөний үед гадаргууг нүхлэхээс сэргийлнэ.

Товч тусгал ба анод хальсны зузааныг шалгана уу: Гэрэл тусгалыг зурааснаас хамгаалж тэнцвэржүүлэхийн тулд тусгалын нийт үнэлгээ ≥ 86%-90% (DIN 5036) болон битүүмжилсэн анод давхарга (3μm-8μm) шаардлагатай.

ASTM E595 хий гадагшлуулах нийцтэй байдлыг баталгаажуулна уу: Вакуум камер суурилуулахад нийт массын алдагдал (TML < 0.10%) болон цуглуулсан дэгдэмхий конденсацын материалыг (CVCM < 0.01%) баталгаажуулсан туршилтын гэрчилгээг хүсэх.