Näme üçin 1060 anodlaşdyrylan aýna Alýumin listi icarymgeçirijini barlamak gurallarynda has gowy görülýär?

Autarymgeçirijini barlamak gurallary, meselem, awtomatiki optiki gözleg (AOI) ulgamlary, wafli kemçilik skanerleri we fotolitografiýa deňleşdiriş modullary - aşa arassaçylyk ülňüleri boýunça işleýär (ISO 1-nji synpdan 5-nji klasa çenli). Silikon waflerdäki kiçi mikron kemçilikleri ýüze çykarmak, ýagtylygyň şöhlelenmesini, ýokary ýylylyk durnuklylygyny, bölejikleriň nol hapalanmagyny we statiki zarýadyň gurulmagyna immuniteti talap edýär.

Adaty şöhlelendiriji polimerler ýa-da ikinji derejeli örtülen aýna aýnalar, aşa ýokary vakuumda (UHV) we ýokary arassa gurşawda hapalanmak töwekgelçiligini döredýär we döwülmegi we döwülmegi töwekgelçiligi sebäpli. 1060 anodlaşdyrylan aýna alýumin listi ( chemical  99.60%  himiki ýalpyldawuk we anodiki möhür bilen arassa Al) berk metal erginini hödürleýär. Lightagtylygyň umumy şöhlelenmesini ( ≥ 86% -95% ), aşa pes vakuum çykaryşyny, statiki bölünişigi we duýgur wafli barlag optikasy üçin takyk ýylylyk geçirijiligini üpjün edýär.

Intokary dykyzlykly ýagtylyk görkezmesi we oýlanma

Sub-mikron kemçiligi barlamak takyk lazer skanerine ýa-da ýokary güýçli LED yşyk ýollaryna daýanýar:

Lightagtylygyň ýaýramagynyň ýok edilmegi: reflektor plastinkalardaky kemçilikler ýa-da mämişi gabygy dokumalary ýokary tizlikli CCD / CMOS datçiklerinde signal-ses seslerini (SNR) peseldip, ýagtylygy ýaýradýar.

Spektral birmeňzeşlik: Gözleg optikasy, optiki ýoýulmazdan UV, görünýän we ýakyn infragyzyl (NIR) tolkun uzynlyklarynda durnukly şöhlelenmäni talap edýär.

Arassa otagyň hapalanmagy we zyýany

Ondarymgeçiriji enjamlaryň bölekleri gaty berk material çäklerinden geçýär:

Organiki aýna / polimer aýna vs. 1060 Anodlaşdyrylan aýna alýumin

Üýtgäp durýan organiki hapalanma: Polimer diregler ýa-da ýelim gatlaklar UV yşyklandyrylyşy ýa-da wakuum astynda üýtgäp durýan organiki birleşmelerden (VOC) çykýar, inçe filmleri näzik proýeksiýa linzalaryna goýýar.

Aýratyn nesil: döwük materiallar ýa-da ýalpyldawuk örtükler mikroskopiki tozan bölejiklerini emele getirýär, bu bolsa ölüleriň ölmegine sebäp bolýar.

 Optiki reflektor materiallary

Aşakdaky tablisada ýarymgeçiriji barlag enjamlarynda ulanylýan optiki şöhlelendiriş materiallarynyň tehniki parametrleri deňeşdirilýär:

Ondarymgeçirijini barlamak enjamlarynda esasy artykmaçlyklar

Sorag-jogap

1-nji sorag: Näme üçin aýna programmalary üçin 6061 ýaly has güýçli erginleriň ýerine 1060 alýumin ulanmaly?

J: 6061 ýaly ýokary güýçli erginlerde magniý we kremniniň intermetal fazalary bar, olar himiki polishing wagtynda mikroskopiki çukury döredýär we ýagtylygyň ýaýramagyna sebäp bolýar. 1060 arassa alýuminiý ( ≥ 99.60% ) ýokary derejeli spekulýatiw şöhlelendirmäni gazanyp, rahatlyk bilen ýuwýar.

2-nji sorag: Anodiki oksid gatlagy aýna alýumin listiniň şöhlelenmesini peseldýärmi?

J: gözegçilikde saklanýan anodizasiýa ( 3μm-8μm ) Arassalygy arassa arassalaýjy möhürleri ulanyp, ≥ 86% -95% şöhlelendirişini saklaýar. , möhüm çyzylma garşylygy, himiki passiwasiýa we daşarky däl häsiýetleri üpjün etmek bilen

3-nji sorag: Ultra ýokary vakuum (UHV) kameralary üçin 1060 anodlaşdyrylan aýna alýumin ygtybarlymy?

J: Hawa. Doly möhürlenen anodiki gatlakda ( Al ₂ O ₃) hiç hili organiki erginler, boýaglar ýa-da üýtgäp durýan baglaýjylar ýok. ASTM E595 geçiş standartlaryna ( ASTM gelýär TML <0.10% , CVCM <0.01% ) , bu arassa otag we wakuum gurallarynyň integrasiýasy üçin ygtybarly edýär.

4-nji sorag: 1060 aýna alýumin arassa otaglarda elektrostatik zyňylyşy (ESD) nädip dolandyrýar?

J: Inçe anod gatlagynyň aşagyndaky geçiriji metal substrat hökmünde 1060 alýumin statiki zarýadlaryň howpsuz ýere ýaýramagyna mümkinçilik döredýär, howadan çykýan tozan bölejikleriniň wafli ýüzlere statiki çekilmeginiň öňüni alýar.

5-nji sorag: Optiki gurnamak üçin aýna alýumin zolaklaryny ibermek üçin haýsy gorag gaplamasy ulanylýar?

J: Sahypalar ýokary düşnükli, pes goragly PE film bilen örtülendir, arassa sumkalarda desikantlar bilen vakuum bilen gaplanýar, bitarap kagyz bilen garylýar we çyzylmagynyň ýa-da okislenmeginiň öňüni almak üçin agyr tüsse däl agaç gaplarda tekiz iberilýär.

Netije

Görkezmek Icarymgeçirijini barlamak üçin gurallar üçin 1060 anodlaşdyrylan aýna alýumin zynjyrlary ýokary optiki şöhlelenmäni, ultra pes vakuum çykaryşyny we arassa otag ygtybarlylygyny üpjün edýär.

Ondarymgeçiriji optika ýa-da berkitme taslamasy üçin material saýlamasyny optimizirlemek üçin:

Mandat ýokary garyndy arassalygy (≥ 99.60% Al): Açyk himiki ýalpyldawuk wagtynda ýeriň çökmeginiň öňüni almak üçin gözegçilik edilýän pes demir / kremniniň derejesi bilen 1060 ýa-da 1070 garyndysyny kesgitläň.

Aýratyn şöhlelendiriş we anod filminiň galyňlygyny barlaň: Jemi şöhlelendiriş bahalaryny talap ediň - 86% -90% (DIN 5036) we möhürlenen anod gatlagy (3μm-8μm), şöhlelenmäni dyzdan goramak bilen deňleşdirmek.

ASTM E595 Çykyş ýerine ýetirişine göz ýetiriň: Wakuum kamerasyny oturtmak üçin umumy köpçülikleýin ýitgini (TML <0.10%) we ýygnanan üýtgäp durýan kondensasiýa materialyny (CVCM <0.01%) tassyklaýan synag kepilnamasyny soraň.