เหตุใดกระจกอะโนไดซ์ 1060 แผ่นอลูมิเนียม จึงเป็นที่นิยมในเครื่องมือตรวจสอบเซมิคอนดักเตอร์

เครื่องมือตรวจสอบเซมิคอนดักเตอร์ เช่น ระบบตรวจสอบด้วยแสงอัตโนมัติ (AOI) เครื่องสแกนข้อบกพร่องเวเฟอร์ และโมดูลการจัดตำแหน่งการพิมพ์หินด้วยแสง ทำงานภายใต้มาตรฐานห้องคลีนรูมขั้นสูงสุด (ISO Class 1 ถึง Class 5) การตรวจจับข้อบกพร่องระดับไมครอนบนเวเฟอร์ซิลิคอนจำเป็นต้องมีการสะท้อนแสงที่บริสุทธิ์ ความเสถียรทางความร้อนสูง การปนเปื้อนของอนุภาคเป็นศูนย์ และการต้านทานการสะสมประจุไฟฟ้าสถิต

โพลีเมอร์สะท้อนแสงแบบมาตรฐานหรือกระจกกระจกเคลือบทุติยภูมิก่อให้เกิดความเสี่ยงในการปนเปื้อนอย่างมีนัยสำคัญในสภาพแวดล้อมที่มีสุญญากาศสูงพิเศษ (UHV) และสภาพแวดล้อมที่มีห้องสะอาดสูง เนื่องจากก๊าซไหลออกและการแตกหักที่เปราะบาง แผ่นอลูมิเนียมกระจกอะโนไดซ์ 1060 (Al บริสุทธิ์≥  99.60%  พร้อมการขัดเงาด้วยสารเคมีและซีลขั้วบวก) นำเสนอโซลูชันโลหะที่แข็งแกร่ง ให้การสะท้อนของแสงในทิศทางทั้งหมด ( ≥ 86%-95% ) การปล่อยก๊าซสุญญากาศต่ำเป็นพิเศษ การกระจายตัวแบบคงที่ และการนำความร้อนที่แม่นยำสำหรับออปติกการตรวจสอบแผ่นเวเฟอร์ที่มีความละเอียดอ่อน

การนำทางแสงความเข้มสูงและการสะท้อน

การตรวจสอบข้อบกพร่องระดับต่ำกว่าไมครอนอาศัยการสแกนด้วยเลเซอร์ที่แม่นยำหรือเส้นทางแสง LED ความเข้มสูง:

การกำจัดการกระเจิงของแสง: ความไม่สมบูรณ์หรือพื้นผิวเปลือกส้มบนแผ่นสะท้อนแสงจะกระจายแสง ส่งผลให้อัตราส่วนสัญญาณต่อสัญญาณรบกวน (SNR) บนเซ็นเซอร์ CCD/CMOS ความเร็วสูงลดลง

ความสม่ำเสมอของสเปกตรัม: ออพติคการตรวจสอบต้องการการสะท้อนแสงที่เสถียรตลอดความยาวคลื่น UV ที่มองเห็นได้ และอินฟราเรดใกล้ (NIR) โดยไม่มีการบิดเบือนของแสง

การปนเปื้อนในห้องสะอาดและอันตรายจากการปล่อยก๊าซ

ส่วนประกอบอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์เผชิญกับข้อจำกัดการปล่อยก๊าซออกของวัสดุที่เข้มงวด:

กระจกออร์แกนิก/กระจกโพลีเมอร์ กับ กระจกอะลูมิเนียม 1060 อะโนไดซ์

การปนเปื้อนสารอินทรีย์ระเหยง่าย: แผ่นหลังโพลีเมอร์หรือชั้นกาวจะปล่อยสารประกอบอินทรีย์ระเหยง่าย (VOCs) ออกภายใต้แสง UV หรือสุญญากาศ ทำให้เกิดฟิล์มบาง ๆ ลงบนเลนส์ฉายภาพที่ละเอียดอ่อน

การสร้างอนุภาค: วัสดุที่เปราะหรือสารเคลือบที่แตกเป็นขุยจะสร้างอนุภาคฝุ่นขนาดเล็กมาก ทำให้เกิดข้อบกพร่องในเวเฟอร์ตายอย่างร้ายแรง

 วัสดุสะท้อนแสง

ตารางด้านล่างเปรียบเทียบพารามิเตอร์ทางเทคนิคของวัสดุสะท้อนแสงที่ใช้ในอุปกรณ์ตรวจสอบเซมิคอนดักเตอร์:

ข้อได้เปรียบที่สำคัญในอุปกรณ์ตรวจสอบเซมิคอนดักเตอร์

คำถามที่พบบ่อย

คำถามที่ 1: เหตุใดจึงใช้อะลูมิเนียม 1060 แทนโลหะผสมที่มีความแข็งแรงสูงเช่น 6061 สำหรับงานกระจก

ตอบ: โลหะผสมที่มีความแข็งแรงสูง เช่น 6061 ประกอบด้วยแมกนีเซียมและซิลิคอนเฟสระหว่างโลหะซึ่งสร้างรูขนาดเล็กมากในระหว่างการขัดเงาด้วยสารเคมี ทำให้เกิดการแพร่กระจายของแสง อลูมิเนียมบริสุทธิ์ 1060 ( ≥ 99.60% ) ขัดได้อย่างราบรื่น ให้การสะท้อนแสงแบบ Specular ที่เหนือกว่า

คำถามที่ 2: ชั้นอะโนดิกออกไซด์ลดการสะท้อนแสงของแผ่นอลูมิเนียมกระจกหรือไม่

ตอบ: การชุบอโนไดซ์แบบควบคุม ( 3μm-8μm ) โดยใช้น้ำยาซีลใสที่มีความบริสุทธิ์สูงจะรักษา ค่าการสะท้อนแสง ≥ 86%-95%  ในขณะที่ให้ความต้านทานต่อการขีดข่วนที่สำคัญ การสร้างฟิล์มด้วยสารเคมี และไม่ปล่อยแก๊สออกมา

คำถามที่ 3: อลูมิเนียมกระจกอะโนไดซ์ 1060 ปลอดภัยสำหรับห้องสุญญากาศสูงพิเศษ (UHV) หรือไม่

ก. ใช่. ชั้นขั้วบวกที่ปิดสนิท ( Al ₂ O ₃) ไม่มีตัวทำละลายอินทรีย์ สีย้อม หรือสารยึดเกาะที่ระเหยง่าย เป็นไปตามมาตรฐานการปล่อยก๊าซ E595 ASTM ( TML < 0.10% , CVCM < 0.01% ) ทำให้ปลอดภัยสำหรับการรวมเครื่องมือในห้องคลีนรูมและสุญญากาศ

คำถามที่ 4: กระจกอะลูมิเนียม 1060 จัดการกับการปล่อยประจุไฟฟ้าสถิต (ESD) ในห้องปลอดเชื้อได้อย่างไร

ตอบ: อลูมิเนียม 1060 เป็นสารตั้งต้นโลหะที่เป็นสื่อกระแสไฟฟ้าใต้ชั้นขั้วบวกบางๆ ช่วยให้ประจุไฟฟ้

คำถามที่ 5: บรรจุภัณฑ์ป้องกันใดที่ใช้ในการจัดส่งแผ่นอลูมิเนียมกระจกสำหรับการประกอบออปติคอล

ตอบ: แผ่นเคลือบด้วยฟิล์มป้องกัน PE ที่มีความคมชัดสูงและมีการยึดติดต่ำ บรรจุสูญญากาศด้วยสารดูดความชื้นในถุงสำหรับห้องคลีนรูม สอดด้วยกระดาษที่เป็นกลาง และจัดส่งแบบแบนในกล่องไม้ที่ผ่านการรมควันสำหรับงานหนักเพื่อป้องกันรอยขีดข่วนหรือการเกิดออกซิเดชัน

บทสรุป

การระบุ แผ่นอลูมิเ�นไดซ์ ~!phoenix_var173_1!~

เพื่อเพิ่มประสิทธิภาพการเลือกวัสดุสำหรับเลนส์เซมิคอนดักเตอร์หรือโครงการตู้ของคุณ:

ควบคุมความบริสุทธิ์ของโลหะผสมสูง (≥ 99.60% Al): ระบุโลหะผสม 1060 หรือ 1070 พร้อมควบคุมระดับเหล็ก/ซิลิคอนต่ำ เพื่อป้องกันไม่ให้พื้นผิวเป็นหลุมระหว่างการขัดเีาด้วยสารเคมีที่สดใส

ตรวจสอบค่าการสะท้อนแสงแบบพิเศษและความหนาของฟิล์มขั้วบวก: ต้องมีพิกัดการสะท้อนแสงรวม≥ 86%-90% (DIN 5036) และชั้นขั้วบวกแบบปิดผนึก (3μm-8μm) เพื่อปรับสมดุลการสะท้อนแสงพร้อมการป้องกันรอยขีดข่วน

ตรวจสอบให้แน่ใจว่า ASTM เป็นไปตามข้อกำหนดการปล่อยก๊าซ E595: ขอใบรับรองการทดสอบเพื่อยืนยันการสูญเสียมวลทั้งหมด (TML < 0.10%) และวัสดุควบแน่นที่ระเหยได้ (CVCM < 0.01%) สำหรับการติดตั้งห้องสุญญากาศ