Kodėl puslaidininkių tikrinimo įrankiuose pirmenybė teikiama 1060 anoduotam veidrodžiui Aliuminio lakštas ?

Puslaidininkių tikrinimo įrankiai, pvz., automatinės optinio tikrinimo (AOI) sistemos, plokštelių defektų skaitytuvai ir fotolitografijos derinimo moduliai, veikia pagal itin švarių patalpų standartus (ISO klasė nuo 1 iki 5 klasės). Norint aptikti submikroninius silicio plokštelių defektus, būtinas nesugadintas šviesos atspindys, didelis terminis stabilumas, nulinis užterštumas kietosiomis dalelėmis ir atsparumas statiniam krūviui.

Standartiniai atspindintys polimerai arba antrine danga padengti stiklo veidrodžiai kelia didelį užteršimo pavojų itin didelio vakuumo (UHV) ir didelės švaros patalpose dėl dujų išsiskyrimo ir trapios lūžimo rizikos. 1060 anoduotas veidrodinis aliuminio lakštas (≥  99,60 %  grynumo Al su cheminiu poliravimu ir anodiniu sandarikliu) siūlo tvirtą metalinį sprendimą. Jis užtikrina visišką kryptingą šviesos atspindį ( ≥ 86%-95% ), ypač mažą vakuuminį dujų išsiskyrimą, statinį išsklaidymą ir tikslų šilumos laidumą jautriai plokštelių tikrinimo optikai.

Didelio intensyvumo šviesos nukreipimas ir atspindys

Submikronų defektų patikrinimas pagrįstas tiksliu lazeriniu skenavimu arba didelio intensyvumo LED šviesos keliais:

Šviesos sklaidos pašalinimas: reflektoriaus plokščių trūkumai arba apelsinų žievelės tekstūros išsklaido šviesą ir sumažina signalo ir triukšmo santykį (SNR) didelės spartos CCD/CMOS jutikliuose.

Spektrinis vienodumas: tikrinimo optika reikalauja stabilaus atspindžio UV, matomoje ir artimojo infraraudonųjų spindulių (NIR) bangų ilgiuose be optinio iškraipymo.

Švarios patalpos užteršimo ir dujų išsiskyrimo pavojai

Puslaidininkinės įrangos komponentams taikomos griežtos medžiagų išmetimo ribos:

Organinio stiklo/polimero veidrodis prieš 1060 anoduotą veidrodinį aliuminį

Lakioji organinė tarša: polimeriniai pagrindai arba lipnūs sluoksniai išskiria lakiuosius organinius junginius (LOJ) UV šviesoje arba vakuume, nusodindami plonas plėveles ant subtilių projekcinių lęšių.

Kietųjų dalelių susidarymas: Trapios medžiagos arba pleiskanojančios dangos sukuria mikroskopines dulkių daleles, kurios sukelia mirtinus plokštelių štampų defektus.

 Optinio atšvaito medžiagos

Žemiau esančioje lentelėje palyginami puslaidininkių tikrinimo įrangoje naudojamų optinių atspindžių medžiagų techniniai parametrai:

Pagrindiniai puslaidininkių tikrinimo įrangos pranašumai

DUK

1 klausimas: kodėl veidrodžiams naudoti 1060 aliuminį, o ne didesnio stiprumo lydinius, pvz., 6061?

A: Didelio stiprumo lydiniuose, tokiuose kaip 6061, yra intermetalinių magnio ir silicio fazių, kurios cheminio poliravimo metu sukuria mikroskopines duobes ir sukelia šviesos sklaidą. 1060 grynas aliuminis ( ≥ 99,60% ) poliruoja sklandžiai ir užtikrina puikų veidrodinį atspindį.

2 klausimas: ar anodinio oksido sluoksnis sumažina veidrodinio aliuminio lakšto atspindį?

A: Kontroliuojamas anodavimas ( 3 μm–8 μm ), naudojant didelio grynumo skaidrius sandariklius, palaiko ≥ 86–95 %  atspindį, tuo pačiu užtikrinant gyvybiškai svarbų atsparumą įbrėžimams, cheminį pasyvumą ir neišskiriančias dujas.

3 klausimas: ar 1060 anoduotas veidrodinis aliuminis yra saugus itin didelio vakuumo (UHV) kameroms?

A: Taip. Visiškai sandariame anodiniame sluoksnyje ( Al ₂ O ₃) nėra organinių tirpiklių, dažiklių ar lakiųjų rišiklių. Jis atitinka ASTM E595 išmetamųjų dujų standartus ( TML < 0,10 % , CVCM < 0,01 % ), todėl yra saugus naudoti švarioje patalpoje ir vakuuminiame įrankyje.

4 klausimas: kaip 1060 veidrodinis aliuminis valdo elektrostatinę iškrovą (ESD) švariose patalpose?

A: Kaip laidus metalinis substratas, esantis po plonu anodiniu sluoksniu, 1060 aliuminis leidžia statiniams krūviams saugiai išsisklaidyti žemėje ir neleidžia statiškai pritraukti ore esančių dulkių dalelių ant plokštelių paviršių.

5 klausimas: kokia apsauginė pakuotė naudojama veidrodiniams aliuminio lakštams gabenti optiniam surinkimui?

A: Lakštai yra laminuoti labai skaidria, mažai lipnia apsaugine PE plėvele, vakuuminiu būdu supakuoti su sausikliais švarių patalpų maišuose, perklijuoti neutraliu popieriumi ir siunčiami plokšti tvirtuose nefumiguojamuose mediniuose dėkluose, kad būtų išvengta įbrėžimų ar oksidacijos.

Išvada

Nurodant 1060 anoduoti veidrodiniai aliuminio lakštai, skirti puslaidininkių tikrinimo įrankiams, užtikrina aukštą optinį atspindį, itin mažą vakuuminį dujų išsiskyrimą ir tvirtą švarios patalpos patikimumą.

Norėdami optimizuoti medžiagų pasirinkimą savo puslaidininkinės optikos ar korpuso projektui:

Privalomas didelis lydinio grynumas (≥ 99,60 % Al): nurodykite 1060 arba 1070 lydinį su kontroliuojamu mažu geležies / silicio kiekiu, kad išvengtumėte dėmių susidarymo paviršiuje atliekant ryškų cheminį poliravimą.

Patikrinkite veidrodinį atspindį ir anodinės plėvelės storį: reikalingas bendras atspindžio koeficientas ≥ 86% -90% (DIN 5036) ir sandarus anodinis sluoksnis (3 μm–8 μm), kad atspindėjimas būtų suderintas su apsauga nuo įbrėžimų.

Užtikrinti ASTM E595 išmetamųjų dujų atitiktį: paprašykite bandymo sertifikato, patvirtinančio bendrą masės nuostolį (TML < 0,10 %) ir surinktą lakią kondensuojamą medžiagą (CVCM < 0,01 %) vakuuminės kameros įrengimui.