Чаму анадаванае люстэрка 1060 Алюмініевы ліст аддаецца перавагу ў інструментах кантролю паўправаднікоў?

Інструменты кантролю паўправаднікоў, такія як аўтаматызаваныя сістэмы аптычнага кантролю (AOI), сканеры дэфектаў пласцін і модулі выраўноўвання фоталітаграфіі, працуюць у адпаведнасці з надзвычайнымі стандартамі чыстых памяшканняў (ISO, класы 1 - 5). Для выяўлення субмікронных дэфектаў на крамянёвых пласцінах неабходна некранутае адлюстраванне святла, высокая тэрмічная стабільнасць, адсутнасць забруджвання часціцамі і ўстойлівасць да назапашвання статычнага зарада.

Стандартныя святлоадбівальныя палімеры або шкляныя люстэркі з другасным пакрыццём ствараюць значную небяспеку забруджвання ў звышвысокім вакууме (UHV) і асяроддзі з высокім утрыманнем чысціні з-за вылучэння газаў і рызыкі паломкі далікатных прадметаў. Анадаваны люстраны алюмініевы ліст 1060 (≥  99,60%  чыстага Al з хімічнай паліроўкай і анодным ушчыльненнем) прапануе трывалае металічнае рашэнне. Ён забяспечвае поўнае накіраванае адлюстраванне святла ( ≥ 86%-95% ), звышнізкі вакуум, рассейванне статычнай электраэнергіі і дакладную цеплаправоднасць для адчувальнай оптыкі для кантролю пласцін.

Навядзенне і адлюстраванне святла высокай інтэнсіўнасці

Даследаванне субмікронных дэфектаў абапіраецца на дакладнае лазернае сканаванне або святлодыёдныя шляхі высокай інтэнсіўнасці:

Ліквідацыя рассейвання святла: Недасканаласці або тэкстуры апельсінавай скарынкі на пласцінах адбівальнікаў рассейваюць святло, зніжаючы суадносіны сігнал/шум (SNR) на высакахуткасных датчыках CCD/CMOS.

Спектральная аднастайнасць: Кантрольная оптыка патрабуе стабільнай адбівальнай здольнасці ў УФ, бачным і блізкім інфрачырвоным (NIR) даўжынях хваль без аптычных скажэнняў.

Небяспека забруджвання чыстых памяшканняў і выкіду газаў

Кампаненты паўправадніковага абсталявання сутыкаюцца са строгімі абмежаваннямі на вылучэнне газаў:

Арганічнае шкло/палімернае люстэрка ў параўнанні з анадаваным люстраным алюмініем 1060

Лятучыя арганічныя забруджвання: палімерныя асновы або клейкія пласты вылучаюць лятучыя арганічныя злучэнні (ЛОС) пад ультрафіялетавым асвятленнем або ў вакууме, накладваючы тонкія плёнкі на далікатныя праекцыйныя лінзы.

Утварэнне цвёрдых часціц: Далікатныя матэрыялы або пакрыцця, якія адслойваюцца, ствараюць мікраскапічныя часціцы пылу, якія выклікаюць фатальныя дэфекты пласцін.

 Матэрыялы для аптычных адбівальнікаў

У табліцы ніжэй параўноўваюцца тэхнічныя параметры матэрыялаў для аптычнага адлюстравання, якія выкарыстоўваюцца ў абсталяванні для кантролю паўправаднікоў:

Асноўныя перавагі абсталявання для кантролю паўправаднікоў

FAQ

Q1: Навошта выкарыстоўваць алюміній 1060 замест больш трывалых сплаваў, такіх як 6061, для прымянення люстэркаў?

A: Высокатрывалыя сплавы, такія як 6061, утрымліваюць інтэрметалідныя фазы магнію і крэмнію, якія ствараюць мікраскапічныя кропкі падчас хімічнай паліроўкі, выклікаючы рассейванне святла. Чысты алюміній 1060 ( ≥ 99,60% ) гладка паліруецца, дасягаючы найвышэйшай люстраной здольнасці.

Пытанне 2: Ці зніжае пласт аноднага аксіду адбівальную здольнасць алюмініевага ліста люстэрка?

A: Кантраляванае анадаванне ( 3 мкм-8 мкм ) з выкарыстаннем празрыстых герметыкаў высокай чысціні падтрымлівае адбівальную здольнасць ≥ 86%-95%,  адначасова забяспечваючы важную ўстойлівасць да драпін, хімічную пасівацыю і невыдзяленне газаў.

Q3: Ці бяспечны анадаваны люстраны алюміній 1060 для камер звышвысокага вакууму (UHV)?

A: Так. Цалкам герметычны анодны пласт ( Al ₂ O ₃) не ўтрымлівае арганічных растваральнікаў, фарбавальнікаў або лятучых звязальных рэчываў. Ён адпавядае ASTM стандартам выкіду газаў E595 ( TML <0,10% , CVCM <0,01% ), што робіць яго бяспечным для інтэграцыі чыстых памяшканняў і вакуумных інструментаў.

Пытанне 4: Як алюмініевае люстэрка 1060 спраўляецца з электрастатычным разрадам (ESD) у чыстых памяшканнях?

A: Як токаправодная металічная падкладка пад тонкім анодным пластом, алюміній 1060 дазваляе бяспечна рассейваць статычныя зарады на зямлю, прадухіляючы статычнае прыцягненне часціц пылу ў паветры на паверхні пласцін.

Q5: Якая ахоўная ўпакоўка выкарыстоўваецца для дастаўкі люстраных алюмініевых лістоў для аптычнай зборкі?

A: Лісты ламініраваны ахоўнай плёнкай PE высокай празрыстасці з нізкім узроўнем клейкасці, упакоўваюцца пад вакуумам з асушальнікамі ў мяшках для чыстых памяшканняў, перамяжоўваюцца нейтральнай паперай і пастаўляюцца ў плоскім стане ў цяжкіх драўляных скрынях без фумігацыі для прадухілення драпін або акіслення.

Заключэнне

Удакладняючы Анадаваныя люстраныя алюмініевыя лісты 1060 для інструментаў для праверкі паўправаднікоў забяспечваюць высокую аптычную адбівальную здольнасць, звышнізкі вакуум і надзейнасць у чыстых памяшканнях.

Каб аптымізаваць выбар матэрыялу для вашай паўправадніковай оптыкі або праекта корпуса:

Мандат высокай чысціні сплаву (≥ 99,60% Al): укажыце сплаў 1060 або 1070 з кантраляваным нізкім узроўнем жалеза/крэмнію для прадухілення кропкавай адукацыі паверхні падчас яркай хімічнай паліроўкі.

Праверце люстраную адбівальную здольнасць і таўшчыню аноднай плёнкі: Патрабуецца агульны паказчык адбівальнай здольнасці ≥ 86%-90% (DIN 5036) і герметычны анодны пласт (3 мкм-8 мкм), каб збалансаваць адбівальную здольнасць і абарону ад драпін.

Забяспечце адпаведнасць ASTM E595 па выкіду газаў: запытайце сертыфікацыю выпрабаванняў, якая пацвярджае агульную страту масы (TML < 0,10%) і сабраны лятучы кандэнсуемы матэрыял (CVCM < 0,01%) для ўстаноўкі ў вакуумнай камеры.